1 真空铝钎焊炉 作业指导书 1 . 操作程序………………………………………2 2 . 维修与保养……………………………………3 3 . 注意事项………………………………………6 2 1、操作程序 1
1 开炉准备 1
1 检查各电接头是否紧固,各组成部分是否清洁、正常
2 打开水冷系统总开关及各分开关,保证水压0
3 打开压缩空气开关
4 打开充气系统总开关
(如工艺不需要,可不开)
5 电源总开关合闸
6 将电控箱上的各路开关合闸
7 调节控制仪表,使其符合真空钎焊工艺要求
8 油扩散泵加热:当扩散泵为真空状态时,打开维持阀,启动维持泵,对扩散泵抽真空延时,对油扩散泵提前加热
2 开炉步骤 1
1 打开炉门,将工件送入炉内,然后关闭炉盖
2 打开旁路阀,启动滑阀泵,对炉子抽真空
3 当炉内真空度≤670 Pa 时,注意观察罗茨泵轴基本不转,启动罗茨泵
4 当炉内真空度达到 10 Pa 时,且扩散泵加热到温(约90~120 分钟),关旁路阀,关维持阀,停维持泵
打开主路阀,打开扩散泵上的高真空阀
由扩散泵对炉体抽真空
5 当炉内真空度达到工艺规定值时,即可通电加热,炉子开始升温、保温(按设定的工艺曲线程控进行)
6 钎焊加热工艺结束后炉子断电停止加热
7 关闭高真空阀
停扩散泵加热并加强泵体的冷却
8 停罗茨泵,打开维持阀,启动维持泵
延时关主路阀,停滑阀泵
9 加强炉体冷却(此项按需要)
10 当炉内温度降至可出炉温度时(由钎焊工艺定)做出炉准备(或按工艺要求提前充入高纯氮气,加速降温)
11 打开炉体放气阀,使炉内压强恢复至大气压力,关闭炉体放气阀