1 真空铝钎焊炉 作业指导书 1 ． 操作程序………………………………………2 2 ． 维修与保养……………………………………3 3 ． 注意事项………………………………………6 2 1、操作程序 1.1 开炉准备 1.1.1 检查各电接头是否紧固，各组成部分是否清洁、正常。 1.1.2 打开水冷系统总开关及各分开关，保证水压0.1～0.3MPa。 1.1.3 打开压缩空气开关。 1.1.4 打开充气系统总开关。（如工艺不需要，可不开）。 1.1.5 电源总开关合闸。 1.1.6 将电控箱上的各路开关合闸。 1.1.7 调节控制仪表，使其符合真空钎焊工艺要求。 1.1.8 油扩散泵加热：当扩散泵为真空状态时，打开维持阀，启动维持泵，对扩散泵抽真空延时，对油扩散泵提前加热。 1.2 开炉步骤 1.2.1 打开炉门，将工件送入炉内，然后关闭炉盖。 1.2.2 打开旁路阀，启动滑阀泵，对炉子抽真空。 1.2.3 当炉内真空度≤670 Pa 时，注意观察罗茨泵轴基本不转，启动罗茨泵。 1.2.4 当炉内真空度达到 10 Pa 时，且扩散泵加热到温（约90～120 分钟），关旁路阀，关维持阀，停维持泵。打开主路阀，打开扩散泵上的高真空阀。由扩散泵对炉体抽真空。 1.2.5 当炉内真空度达到工艺规定值时，即可通电加热，炉子开始升温、保温（按设定的工艺曲线程控进行）。 3 1.2.6 钎焊加热工艺结束后炉子断电停止加热。 1.2.7 关闭高真空阀。停扩散泵加热并加强泵体的冷却。 1.2.8 停罗茨泵，打开维持阀，启动维持泵。延时关主路阀，停滑阀泵。 1.2.9 加强炉体冷却（此项按需要）。 1.2.10 当炉内温度降至可出炉温度时（由钎焊工艺定）做出炉准备（或按工艺要求提前充入高纯氮气，加速降温）。 1.2.11 打开炉体放气阀，使炉内压强恢复至大气压力，关闭炉体放气阀。 1.2.12 打开炉门取出工件。 1.3 停炉 1.3.1 关闭充气系统总开关。 1.3.2 当油扩散泵油温低于50℃时，关维持阀，停维持泵。此时应打开旁路阀，启动滑阀泵，使炉内保持在1×10-1Pa（真空计显示值）的真空状态，再关旁路阀，停滑阀泵。 1.3.3 关闭压缩空气开关。 1.3.4 关闭水冷系统总开关。 1.3.5 断开电源总开关。 2、维修与保养 2.1 炉子及控制柜外表面应经常擦拭，保持清洁干净，清理设备时应切断设备电源和压缩空气。 2.2 炉内不干净或有灰尘时，要用丙酮或无水酒精浸湿过的4 绸 布 擦 拭 干 净 并 使 其 干 燥 。 2.3 每 月 定 期 清 理 一 次...
