ESD 静电防护管理程序目录1 目的 32 适用范围 2 3 术语和定义 2 4 引用法规、标准 3 5 职责 : 3 5
1ESD 组织 3 5
2 职责 3 6 流程控制点 4 7ESD 静电放电防护区域( EPA )的界定 5 7
1 静电敏感零件的确认 5 7
2 静电放电防护区域 ( EPA ) 确定:(详见各 EPA 区域 Layout
3 静电放电防护区域( EPA ) 的标识 : 6 7
4 静电放电防护区域( EPA )人员进出管理要求 6 7
5EPA 区风室要求: 7 7
6EPA 区环境的温度和湿度要求 : 7 ESD 静电防护管理程序文件号 Doc No: 拟定 Draft:签名 Signature:日期 Date:复核 Check:签名 Signature:日期 Date:批准 Approve:签名 Signature:日期 Date:修改记录 Revision Record日期 Date 页数 Pages版本 Ver
说明 Description初次发行会签:部门 Dept
姓名 Name签名 Signature日期 DateEngineeringQuality AssuranceLogisticManufacturingHR & IT Facility & GA7
7EPA 区静电源控制要求: 7 7
8EPA 区安全操作要求: 8 8EPA 区管理和技术要求 8 8
1 培训 8 8
2 静电放电防护区域 ( EPA )的防静电保护接地要求 : 9 8
1 防静电系统总接地: 9 8
2 防静电地板接地: 9 8
3 设备接地、辅助设备接地、流水线接地 : 9 8
4 防静电工作表面 ( 静电席台垫等) 9 8
5 防静电工作台的