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半导体-FAB-常用单词

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4.Acetone(CH3COCH3)5.Acid酸6.Add增加7.Adjust调整8.AirShower洁净走道9.Alignment对准10.Alloy合金11.Aluminum(Al)铝12.Ammonia(NH4OH)13.Analysis分析 m~H14.AR氩气1Automation自动氢氧化胺(俗称:氨◎A 开头的单字◎1.Abort 取消操作2.Abnormal 异常3.AceticAcid(CH3COOH)醋酸◎ B 开头的单◎1.Bake烘烤2.Bank暂存3.Barcode条形码4.Batch整批5.BHLD被工程师或客户 BankHold 短时间内不会 Run 的货6.BlueTape蓝膜7.Boat石英晶舟8.Bottom底部9.BreakdownVoltage击穿电压10.Broken破片;损坏11.Buffer生产暂存区1BufferChemical缓冲液◎C 开头的单字◎1.Calibration校正;调整2.Camera照相机;摄影机3.Cancel清除4.Candela(cd)烛光5.Cart手推车6.Cassette晶舟7.Certify技能认证8.Chamber反应室9.Charge电荷10.Chipping 崩裂11.ChipSuctionPen 真空吸笔12.ChipTransfer-m(Machine)翻转机丙13.CleanBench14.CleanRoom15.Cleaning16.CleaningSequence17.Clear18.Coat19.Coater20.Coating21.Completed22.Confirm23.Contact24.Contamination25.ControlWafer(C/W)26.Controller27.CoolingWater28.Crucible,Pot29.Curing30.Customer◎D 开头的单字◎1.DailyMonitor2.Data3.Date4.Defect5.Defocus6.Del(Delete)7.Delay8.Department9.Deposition(DEP)10.Develop11.Developer12.Die,Chip13.DIWater14.Dicing15.Down16.Drain17.DryEtching18.DryPump19.DummyWafer(D/W)蚀刻清洗台洁净室清洗 IF 清洗程序清除涂布上光阻机台上光阻;涂布上整个表面结束;完成确认接触污染控片控制器冷却水坩埚烘烤客户31.CVD(ChemicalVaporDeposition)化学汽相沉积32.CycleTime 生产周期每日检测资料;数据日期缺点;缺陷散焦;无法聚焦清除;删除延迟部门沉积显影显影器;显影液晶粒(台);芯片(陆)去离子水切割当机泄出干蚀刻干式(无油封)的真空泵挡片◎E 开头的单字◎1. E/R(EtchingRate)EmergencyStop紧急停止EMOEndpointEngineerEpi-waferEquipmentErrorMessageEtchingEvaporationExhaustExpandingMachineExposure紧急停止按钮终点值"、八、、|-h~L工程师磊晶片(台);外延片(陆)机台;设备错误讯息蚀刻蒸镀抽出;抽风管;排(废)气扩张机曝光;曝光量F 开头的单字◎FACFacilityFilmFocus厂务厂务水电气ForwardCurrentForwardVoltage(Vf)FQC顺向电流顺向电压最终检验员炉管HandleHighCurrentHighlightHighVacuumHighVoltage...

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