WT-中文说πdWT-2000中文说明一.简介:可选功能:μ-PCD无接触测量少子寿命LBIC光诱导电流,反射率,计算电池内外量子效率SHR无接触测试方块电阻RES涡流法无接触测试电阻率P/N无接触型号测试THCKNESS电容法测试晶片厚度设备概述:1
两台工控电脑,其中一台是DOS操作系统,主要负责测量数据的处理,机器动作的控制与监控,并与另一台电脑通讯
另一台电脑是WINDOWS操作系统,wintau32操作软件被安装在此
2.测试台,用来测试样品,各个功能可以集成到一个探头上,客户可根据需要来选择不同的功能
二.原理:1
少子寿命测试原理微波光电导衰退法(Microwavephotoconductivitydecay)测试少子寿命,主要包括激光注入产生电子-空穴对和微波探测信号的变化这两个过程
904nm的激光注入(对于硅,注入深度大约为30um)产生电子-空穴对,导致样品电导率的增加,当撤去外界光注入时,电导率随时间指数衰减,这一趋势间接反映少数载流子的衰减趋势,从而通过微波探测电导率随时间变化的趋势就可以得到少数载流子的寿命
μ-PCD测试的是少子有效寿命,它受两个因素影响:体寿命和表面寿命
测试的少子寿命可由下式表示:1τmeas=1τbulk+τdiff1+τsurf………………………(1)式中:τdiff=d22n,pτsurf=2Sτdiff为少子从样品体内扩散到表面所需时间;τsurf为由于样品表面复合产生的表面寿命;τmeas为样品的测WT-中文说试寿命;d为样品厚度;Dn,Dp分别为电子和空穴的扩散系数;S为表面复合速度
图1:不同的表面复合速率下,体寿命和测试寿命的关系由式(1)可知,表面寿命对测试寿命有很大影响,使其偏离体寿命,图1是体寿命与测试寿命的关系
在样品厚度一定的情况下,即扩散寿命一定,如果表面复合速率很大,则在测试高体寿命样品时,测试