真空机组使用说明及其注意事项一 真空机组开机流程1、 启动 VB150 维持泵，然后打开出口阀。当电阻计 2 真空度达到5 帕以下时，启动扩散泵加热。2、 启动 VB200 旋片泵，打开旁通阀；当电阻计 1 真空度达到2000 帕以下时，开启 2ZJP—300 罗茨泵，进行预抽。3、 扩散泵加热 50 分钟以上且电离计真空达到 5 帕以下时，先关闭旁通阀，再打开主阀，进行主抽。4、 关闭 2ZJP—300 罗茨泵，30 秒后关闭 VB200 旋片泵。二 真空机组关机流程1、 关闭主阀。2、 启动-----关机程序。三 真空机组使用注意事项1、 真空机组在使用的整个过程当中，必须保证水路、气路完整通畅。2、 必须严格根据真空机组的开机、关机流程，进行操作。3、 扩散泵加热过程当中，若不慎断水。应该先关闭扩散泵电源，再关闭主阀。然后摘下扩散泵电炉加热器，并使用电风扇进行降温。在这过程当中，要一直保持 VB150 维持泵和出口阀处于开启状态。4、 扩散泵加热过程当中，若 VB150 维持泵出现故障不工作，应该先关闭出口阀，然后启动 VB200 旋片泵，再启动 2ZJP—300 罗茨泵，打开维持阀进行主抽。
