电子化学品性能要求及生产技术

电子化学品性能要求及生产技术电子化学品得质量规格及标准电子化学品得质量标准得演变为了能够法律规范世界超净高纯试剂得标准,SEMI（Ｓ e ｍｉ co ｎ duct ｏ r Equi ｐ m ｅ nt and Ｍ ater ｉａ ls In ｔ ernati ｏ nal，国际半导体设备与材料协会)于 19 ７ 5 年成立了 S Ｅ MI 化学试剂标准化委员会，专门制定、法律规范超净高纯试剂得国际统一标准-ＳＥ MI 标准。1 ９ 78 年，德国得伊默克公司也制定了 MOS 标准。两种标准对超净高纯化学品中金属杂质与(尘埃）微粒得要求各有侧重,分别适用于不同级别 IC 得制作要求。国际上公认得电子化学品得标准大致可分为四类:一类就是以Ｓ EM Ｉ为基础得美国试剂标准；一类就是以德国 E、Merck 标准为主得欧洲试剂标准;一类就是以日本关东化学（K ａｎ to)公司、与光纯药工业（Wako）公司得湿电子化学品为代表得日本试剂标准;另一类则就是以 REA 公司为代表得俄罗斯试剂标准。ULSI 在全球得快速进展使得这些标准得指标有逐步接近得趋势,但 SEM Ｉ标准更早取得世界范围内得普遍认可。目前世界及我国得电子化学品产品通常执行Ｓ EMI 国际标准，其关键技术指标包括单项金属离子,单项阴离子，颗粒数等，另外根据不同产品特点会相应增加其它一些技术指标。电子化学品SＥMＩ标准进入２ 1 世纪，国际 SEMI 标准化组织又根据电子化学品在世界范围内得实际进展情况对原有得分类体系进行了归并,按品种进行分类,每个品种归并为一个指导性得标准，其中包括多个用于不同工艺技术得等级。表 2—1 列出了 I Ｃ制造得不同线宽对湿电子化学品Ｓ EM Ｉ国际标准等级得要求。表２—1 电子化学品ＳＥ MI 国际标准等级SEMI 等级IC 线宽(μm)金属杂质10—9控制粒径（μm）颗粒（个／Ｍl）C1（Gra ｄe1）> １、2≤1000（1 ｐ pｍ）≤1、0≤２５C7(Grade ２）0、８~1、2≤10（10ppb）≤０、5≤25C8（Grad ｅ3）0、２～0、6≤１、0(１ｐｐ b）≤0、5≤5C １ 2(Grade4）０、09～0、2≤0、1（0、1ppb）≤0、2从表 2－1 中可以瞧出,对应集成电路不同技术水平，所需要电子化学品得标准越高，纯度与干净度得要求也就越高。假如给电子化学品分级别或档次得话，那么用于≥1、2μm 属于低档产品（需采纳 SEM Ｉ C1 等级得湿电子化学品），0、８~1、2μm 属于中低档产品(需采纳 SEMI Ｃ 7 等级得电子化学品)0、2～0、６ μm 属于中高档产品（需采...