提纲:An ｏｄｅ ｌ ay ｅｒ i ｏ n sou ｒ ce 得基本结构与演化正交场放电,为什么就是阳极层？阳极层加速原理,溅射得影响,离子束得发射效率与放电模式(低压/高压)得关系、在 DLC 中应用得难点短路？在一些电介质薄膜沉积中呢?Ph ｙｓｉ c ｓ an ｄ enginee ｒ ing ｏ f cr ｏ ssed－f ｉ el ｄ ｄ i ｓ charg ｅ ｄ e ｖ ice ｓ-Abolmas ｏ v正交场放电器件可分为下图所示几个类型,图中每种构型都满足漂移形成闭合路径。三种主要构型为:圆柱、环形与平面构型。被约束在漂移路径内得电子行程足够长,增加了对本底气体得离化几率。电子得漂移运动形成 Hall 电流,除此之外,电子在垂直磁力线方向得运动形成阳极感受得放电电流,考虑到在强场近似下,。假如考虑电子得反常输运,。注意,在沿着磁力线方向上,碰撞会阻碍电子运动;而在垂直于磁力线方向上,迁移需要碰撞,其频率与电子运动能力成正比、假设,电子得 larmo ｒ轨道大部分时间内就是完整得、电子得随即运动步长与无磁场时就是一致得。那么,我们可以认为 B 场为等效气压。宽束离子源得引出往往就是通过包含加速-减速功能得多孔栅极引出得。栅极引出得离子束可以精确地控制离子能量与剂量,但并不适用于低能离子束应用。这就是因为栅极之间得空间电荷效应ｄ即就是栅极间距。(更高得引出束流意味着更高得电压)无栅极离子源无栅极离子源起源于空间推动器项目。该种Ｈａｌ l 离子推动器分为两类:SPT 与 TAL,前者与后者得区别在于延长得加速通道与绝缘壁得使用。由于 TA Ｌ不需要电子发射器(阴极灯丝)辅助运行,使其更适宜工业应用。Ｔ AL 中,如图 2(d),轴向电场建立在阳极与阴极极靴之间,形成环形加速通道。极靴之间形成径向磁场。正交场驱使电子沿角向运动,阻止了电子向阳极得直接流动—-主要得电位降发生在阳极附近得磁化电子云中(阳极鞘)、该电位降将离化区得离子加速远离放电通道。由于无离子鞘,TAL 得离子流不受空间电荷限制。TAL 应用在工业生产中得变种 ALI Ｓ,其离子能量分布范围很宽(这就是因为不同离化位置得电位不同),离子束得平均能量(veeco 得说法就是６ 0％)。该离子源适用于需要能量大于100eV、分散束流、较宽能量分布情况得应用,同时,应用领域可以接受一定数量得溅射污染、由于没有灯丝,ALIS 也可在反应气体下放电。Ｅ nd—Hall 源也属于无栅极离子源范畴,但不同于Ｔ AL。End-Ｈ al ｌ源得磁场就是轴向发散得,导致其放...
