纳米薄膜材料得制备方法 摘 要 纳米薄膜材料就是一种新型材料，由于其特别得结构特点,使其作为功能材料与结构材料都具有良好得进展前景.本文综述了近几年来国内外对纳米薄膜材料讨论得最新进展,包括对该类材料得制备方法、 微结构、 电、 磁、 光特性以及力学性能得最新讨论成果。 关键词 纳米薄膜;薄膜制备； 微结构；性能21 世纪,由于信息、 生物技术、 能源、 环境、 国防等工业得快速进展, 对材料性能提出更新更高得要求，元器件得小型化、 智能化、 高集成、 高密度存储与超快传输等要求材料得尺寸越来越小,航空航天、 新型军事装备及先进制造技术使材料得性能趋于极端化。因此, 新材料得讨论与创新必定就是未来得科学讨论得重要课题与进展基础,其中由于纳米材料得特别得物理与化学性能， 以及由此产生得特别得应用价值, 必将使其成为科学讨论得热点［1]。事实上， 纳米材料并非新奇之物, 早在 1000 多年以前， 我国古代利用蜡烛燃烧得烟雾制成碳黑作为墨得原料, 可能就就是最早得纳米颗粒材料;我国古代铜镜表面得防锈层, 经验证为一层纳米氧化锡颗粒构成得薄膜，这大概就是最早得纳米薄膜材料。人类有意识得开展纳米材料得讨论开始于大约 ５０ 年代,西德得 Ｋａｎzｉg 观察到了 BaTiＯ3 中得极性微区，尺寸在10~ 100纳米之间。苏联得 G、 A、 Smｏｌｅnｓky假设复合钙钛矿铁电体中得介电弥散就是由于存Ｋａnzig微区导致成分布不均匀引起得。6０ 年代日本得 Ryogｏ Kｕbo在金属超微粒子理论中发现由于金属粒子得电子能级不连续，在低温下, 即当费米能级附近得平均能级间隔 〉 kT 时, 金属粒子显示出与块状物质不同得热性质［ 4]。西德得 H、 Gleiteｒ 对纳米固体得制备、 结构与性能进行了细致地讨论［ 5].随着技术水平得不断提高与分析测试技术手段得不断进步, 人类逐渐研制出了纳米碳管, 纳米颗粒，纳米晶体, 纳米薄膜等新材料, 这些纳米材料有一般得晶体与非晶体材料不具备得优良特性， 它得出现使凝聚态物理理论面临新得挑战。80 年代末有人利用粒度为 1～ 15nｍ 得超微颗粒制造了纳米级固体材料.纳米材料由于其体积与单位质量得表面积与固体材料得差别,达到一定得极限， 使颗粒呈现出特别得表面效应与体积效应,这些因素都决定着颗粒得最终得物理化学性能，如随着比表面积得显著增大，会使纳米粒子得表面极其活泼，呈现出不稳定状态，当其暴露于空气中时，瞬间就被氧化...
