去PSG工序培训VIP免费

去PSG（磷硅玻璃）1.目的：去除硅片表面的P-Si玻璃层（PSG）,为加镀减反射膜做准备在形成PN结的扩散过程中，在硅片表面形成一层一定厚度的磷硅玻璃，磷硅玻璃不导电，为了形成良好的欧姆接触，减少光的反射，在沉积减反射膜之前，将磷硅玻璃腐蚀。磷硅玻璃使硅片在空气中容易受潮，导致电流的降低和功率的衰减死层的存在大大增加了发射区电子的复合，会导致少子寿命的降低磷硅玻璃的存在使得PECVD后产生色差2.磷硅玻璃的来源：4POCl3+3O2→2P2O5+6Cl2↑2P2O5+5Si→5SiO2+4P↓硅片表面形成一层含有磷元素的SiO2，成为磷硅玻璃，主要成分P、P2O5、SiO2。3.反应原理原理：利用HF和硅片表面的P-Si玻璃层反应，并使之络合剥离，以达到清洗的目的。HF+SiO2→H2SiF6+H2O4.工艺设备序号工序辅助处理液时间温度1HF鼓泡HF酸120RT2溢流漂洗鼓泡DI120RT3溢流漂洗鼓泡DIRT4溢流漂洗鼓泡DIRT5.异常现象：清洗好的硅片表面有水珠或水成股流下，硅片表面疏水性不好。分析原因：HF的浓度太低，清洗的时间过短或过长。解决办法：及时补充或更换HF；若HF足量该调节HF中的清洗时间，时间过长或过短都会影响硅片表面状态，最终影响电池的性能。6.注意事项及时甩干，避免水纹印注意硅片正反方向不要插错。7.工艺要求检查硅片表面的情况，是否染色、有水纹印等;操作规程1.1将刻蚀好的硅片插入花篮1.2开启去PSG机总电源，开启各单元控制器电源（附图1），开启甩干机电源，并让甩干机无篮运行一次1.3开启1#、2#、3#、4#槽加水开关：1#槽注水至半槽水位关闭进水阀，2#槽注水至溢流口关闭进水阀，3#、4#槽注水至副槽水位到达溢流口处关闭进水阀。1.4戴好护目镜，3M口罩，防酸手套（附图2），在1#加入规定量的HF，然后再开启进水阀，注水至水位离溢流口5cm处关闭进水阀，并手动开启鼓泡，3～5分钟后关闭鼓泡开关。1.5将去PSG机器开启自动运行状态。1.6在上料台上先放上一个母篮，按下“上料确认”，第二个母篮开始既可投入待去PSG的片子进行自动操作。(附图3)1.7待下料蜂鸣响后，即刻将母篮从下料台上抬出放于推车上。1.8甩干机操作：首先按“开门”按钮，等到门完全打开后，将花篮有挡板的一面朝上，依次放入六个槽内，之后双手分别同时按住2个“关门”按钮。等到门完全关闭后，再按“启动”按钮。甩干结束后机器自动发出提示音，此时可以按“开门”按钮，然后取片。外表不符合要求的重复再洗。（附图4）1.9做好各项记录，将生产报表和工艺流程卡放入传递窗。1.10生产结束后，停止自动运行，调到手动状态，将各槽液体排放干净，并做好6S工作。2.注意事项6.1使用劳防用品前，要认真检查，确认完好、可靠、有效，严防误用，或使用不符合安全要求的护具，禁止违章使用或擅自代用。进入生产岗位，必须按规定穿戴劳动防护用品，并正确使用劳动防护用品；防毒面具使用前需仔细检查是否有效，并按国家标准，定期更换滤毒盒；6.2注意甩干机操作，若未满8篮进行甩干，需对称放置花篮；6.3从去磷硅机器中取出的硅片应立即放入甩干机中甩干，不可暴露在空气中；6.4HF都具有强腐蚀性、强刺激性、可致人体灼伤。操作时注意先加水后加酸。操作人员需佩戴自吸过滤式防毒面具（全面罩），穿橡胶耐酸碱服，戴橡胶耐酸碱手套。紧急事态抢救或撤离时，建议佩戴氧气呼吸器；6.5HF的注意事项及应急处理详见相应的MSDS。7.应急处理7.1停电、水、气7.1.1应立即停止向设备输入硅片，待恢复供电、水、气后，按照操作规程操作。会同工艺员讨论在线生产硅片处理方案。化学品安全技术说明书氢氟酸第一部分：化学品名称【中文名称】：氢氟酸【英文名称】hydrofluoricacid【分子式】：HF【分子量】：20.01第二部分：成分/组成信息【含量】：高55%;低40%【CASNo.】：7664-39-3第三部分：危险性概述【健康危害】：对皮肤有强烈的腐蚀作用。灼伤初期皮肤潮红、干燥。创面苍白，坏死，继而呈紫黑色或灰黑色。深部灼伤或处理不当时，可形成难以愈合的深溃疡，损及骨膜和骨质。本品灼伤疼痛剧烈。眼接触高浓度本品可引起角膜穿孔。接触其蒸气，可发生支气管炎、肺炎等。慢性影响：眼和上呼吸道刺激症状，或有鼻衄，嗅觉减退。可有牙齿...