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第1页共6页编号：时间：2021年x月x日书山有路勤为径，学海无涯苦作舟页码：第1页共6页HeliosInline-tn电池片薄膜测量-SiNx膜厚，折射率系数第2页共6页第1页共6页编号：时间：2021年x月x日书山有路勤为径，学海无涯苦作舟页码：第2页共6页HeliosInline-tn减反射膜的表面钝化（surfacepassivation）和扩散势垒(diffusionbarriera)对晶硅电池片的转换效率和长期稳定性起着很重要的作用，性能好的(a-SiNx:H)薄膜广泛的应用于此。而工艺参数的控制比如气压和温度等，对电池片AR膜膜厚，颜色和光学常数n&k有很大的影响。一般来说，要花费很多时间和熟练的技巧来获得精确的数据，以此来支持生产工艺的优化。在线测量AudioDev提供独一无二的膜厚折射率测量设备，HeliosInline-tn是可以集成到现有的电池生产在线使用！通过寻找工艺上的不稳定性的原因，来提高电池的质量和转换效率。比如，镀膜的不均匀性，镀膜机参数漂移，硅片切割工艺和制绒工艺上的不均一性都会影响电池的质量和效率。测量示例Helios-Inline-tn集锦晶硅测量–膜厚：d–折射率测量：N（光谱）产品线使用/R&D部门使用-在线/每一片硅片测量-非破坏式和非接触式-静态和动态测量应用在所有相关晶硅电池–多晶&单晶（抛光,粗糙,组织化)应用在所有相关的组织化结构–等方性和各异性的化学腐蚀–ＲＩＥ(离子腐蚀)应用在所有相关的工艺–PE-Cvd–磁控溅射集成示例对角线扫描5X5组电池在线操作此系统是在生产线上运行，直接放在镀膜设备后面。扫描测量每一片单独的硅片(每片几个点)或者测量对角线上的电池片（每片几个点）第3页共6页第2页共6页编号：时间：2021年x月x日书山有路勤为径，学海无涯苦作舟页码：第3页共6页SiN层AR膜膜厚分布Helios应用范围硅片镀膜后印刷后模组示例单晶绒面SiN薄膜硅片.20个点斜线扫描测量膜厚折射率显示优化你的工艺参数电池片测试/分选机和颜色测试是最终的产品测试，这只是判断电池片合格率，但是并不能提供直接的信息来判断工艺参数是否超出了预期的设置优化生产线工艺参数是，监控并优化产线上的每一个工站的参数，达到控制和优化整条生产线的效果。Heliosinline-tn的设计目的是用来管控电池片生产整个工艺中最重要的两个工艺参数：AR-膜的膜厚和折射率系数Heliosinline-tn的利益及投资回报率减少生产线停线和开机的时间在停线后和重新开线前，可以将使产线工艺重新达到稳定的时第4页共6页第3页共6页编号：时间：2021年x月x日书山有路勤为径，学海无涯苦作舟页码：第4页共6页单晶硅片测量数据膜厚和折射率SiN薄膜多晶绒面硅片，20个点斜线扫描测量，反射率光谱曲线，折射率光谱曲线和测量数据间最小化，可以省时间更多。。。。。。。。在生产工艺的早期就分类出不良品，从而节省材料在AR膜制备后，就可以直接判断出电池片的好坏。这样可以节省材料，因为在AR膜制备后面的工艺（印刷和烧结）可以避免。更多。。。。。节省离线检测时间和人力在线控制可以让离线的膜厚和折射率检测工站废弃，可以省设备，时间，和人力。更多提高产品质量和增加转换效率应用在线检测管控，可以更好的控制折射率系数和膜厚范围，可以保证电池片的颜色一致性，提高电池片的转换效率使您的电池有更高价值计算实例一条电池片生产线-25MW一年-平均转换效率17%-平均价格1$/片假设在线系统能够提高电池片转换效率从17%-->17,1%.投资回报率是150,000$/年.....从电池片中赚取更多的利润第5页共6页第4页共6页编号：时间：2021年x月x日书山有路勤为径，学海无涯苦作舟页码：第5页共6页产品规格测量测量参数膜厚/折射率系数（SiO2和双层薄膜）厚度范围45~120nm折射率系数范围1.90~2.35厚度精度±1nm折射率系数精度±0.02膜厚分辨率<0.1nm折射率系数分辨率<0.004测量速度<0.2s/点测量几何光学设置2通道同步反射率光谱测试仪器测量光斑~5mmX7mm(椭圆)测量距离10mm距离精度±2mm倾斜精度±2°硬件分光光度计2X线性二极管分光光度计,380nm-1050nm,16Bit光源卤素灯，20W接口TCP/IP,DigitalI/O电源AC100~240v;50/60Hz温度15–35°C(50–90°f),湿度:<80%(非凝固)机械单元不包含PC/软件PC要求Windows2000/xP,1GB内存,>100GB硬盘。软件功...