TEM和SEM的异同比较分析以及环境扫描电镜,场发射电镜与传统电镜相比较的技术特点和应用xrd是x射线衍射,可以分析物相,SEM是扫描电镜,主要是观察显微组织,TEM是透射电镜,主要观察超限微结构
AES是指能谱,主要分析浓度分布
STM扫描隧道显微镜,也是观察超微结构的
AFM是原子力显微镜,主要是观察表面形貌用的
TEM:透射电子显微镜(英语:Transmissionelectronmicroscope,缩写TEM),简称透射电镜,是把经加速和聚集的电子束投射到非常薄的样品上,电子与样品中的原子碰撞而改变方向,从而产生立体角散射
散射角的大小与样品的密度、厚度相关,因此可以形成明暗不同的影像
通常,透射电子显微镜的分辨率为0
2nm,放大倍数为几万~百万倍,用于观察超微结构,即小于0
2μm、光学显微镜下无法看清的结构,又称“亚显微结构”
TEM是德国科学家Ruskahe和Knoll在前人Garbor和Busch的基础上于1932年发明的
编辑本段成像原理透射电子显微镜的成像原理可分为三种情况:吸收像:当电子射到质量、密度大的样品时,主要的成相作用是散射作用
样品上质量厚度大的地方对电子的散射角大,通过的电子较少,像的亮度较暗
早期的透射电子显微镜都是基于这种原理TEM透射电镜
衍射像:电子束被样品衍射后,样品不同位置的衍射波振幅分布对应于样品中晶体各部分不同的衍射能力,当出现晶体缺陷时,缺陷部分的衍射能力与完整区域不同,从而使衍射钵的振幅分布不均匀,反映出晶体缺陷的分布
相位像:当样品薄至100A以下时,电子可以穿过样品,波的振幅变化可以忽略,成像来自于相位的变化
编辑本段组件电子枪:发射电子,由阴极、栅极、阳极组成
阴极管发射的电子通过栅极上的小孔形成射线束,经阳极电压加速后射向聚光镜,起到对电子束加速、加压的作用
聚光镜:将电子束聚集,可用于控制照明强度和