Facility(Wuhu)ChipBUOneTeamOneVisionOneStandard纯水系统学习心得------2013
15厂务水处理王亮Facility(Wuhu)ChipBUOneTeamOneVisionOneStandard系统的认识目前的缺失节能想法Facility(Wuhu)ChipBUOneTeamOneVisionOneStandard工艺机台作用刻蚀酸洗机台酸槽清洗有机清洗机台清洗去蜡撕金机台撕金后清洗ITO/BOE酸洗机台酸洗后请洗有机部件清洗机台部件清洗酸洗部件清洗机台酸洗后清洗photo显影机显影后清洗backend研磨研磨用水系统的系统的认识芯片中纯水用水点Facility(Wuhu)ChipBUOneTeamOneVisionOneStandard水质/水量指标类别水量pH电阻率TOCSiO2压力温度超纯水85m3/h≥18MΩ·cm≤50ppb≤50ppb3
5Kg/cm222±1℃软化水PCW/锅炉用水≥18m3/h7