第四章扫描探针显微镜引言所谓扫描探针显微镜(ScanningProbeMicroscopySPM)是用一尖锐的传感器探针在样品表面上方扫描,通过“感触”来检测样品表面性质,并不用物镜来成像,这是与其他显微镜最主要的区别
扫描探针显微镜是一个显微镜的大家族,其中第一个成员是扫描隧道显微镜它是IBM的G
Binning和H
Rohrer博士及其同事于1982年发明的,1986年获诺贝尔物理学奖受扫描隧道显微镜工作原理的启发,人们又研制出一系列工作原理相类似的显微镜,例如:(1)原子力显微镜(AFM)(2)磁力显微镜(MFM)(3)摩擦力显微镜(LFM)(4)化学力显微镜(CFM)(5)静电力显微镜(EFM)我们主要介绍扫描隧道显微镜与原子力显微镜1
扫描隧道显微镜扫描隧道显微镜STM(ScanningTunnellingMicroscopy)是IBM苏黎世实验室的G
Binning和H
Rohrer博士及其同事发明的
STM的研制工作始于1978年•1982年在CaIrSn4单晶上获得第一张单原子台阶像•1983年获得第一张Si(111)—7×7表面重构像,从而宣告了具有原子级空间分辨能力的新一代显微镜的诞生
1986年G
Binning和H
Rohrer与发明电子显微镜的E
Ruska一道获得诺贝尔物理学奖
STM实验可以在大气、真空、溶液、惰性气体甚至反应性气体等各种环境中进行,工作温度可以从绝对零度到摄氏几百度
用途广泛:(1)可用于原子级空间分辨率的表面结构观测,用于研究各种表面化学过程和生物体系(2)是纳米结构加工的有力工具,可用于制备纳米尺度的超微结构,还可用于操纵原子和分子等1
1扫描隧道显微镜的工作原理及工作模式工作原理:当探针与样品表面间距小到纳米量级﹙﹤1nm﹚时,经典力学认为,由于中间的空气将探针与样品表面隔开,探针与样品表面是不导电的;但从量