电介质中的电介质中的空间电荷效应空间电荷效应哈尔滨理工大学哈尔滨理工大学雷清泉陈庆国雷清泉陈庆国一、概述1、定义:空间电荷(Spacecharge-SC)通常是指局部空间内存在的一种正或负的净电荷
可呈点、线、面及体分布
在与半导体与绝缘体有关的许多情况下都会出现空间电荷
2、SC的类型:电子型、空穴型、离子型、偶极子型、极化子型和等离子体型
3、固体:定域态、陷阱、局域能级,代表干扰晶体周期性势场的物理及化学结构缺陷(前者阱深0
5eV,后者可达3-8eV)、杂质在禁带内构成的能级、表面态、表面偶极子态、体内偶极子态、体内分子离子态、杂质、端链、支链、叠链、晶区-非晶区边界、断键、极化子态、局域密度涨落等
杂质、添加剂、反应附产物,既可接受注入电荷,又可通过化学作用,增加电荷注入
哈尔滨理工大学电介质中的空间电荷效应电介质中的空间电荷效应4、液体:电极附近的双电层5、气体:雪崩,正离子
哈尔滨理工大学电介质中的空间电荷效应电介质中的空间电荷效应二、SC的形成阻挡接触:,电子从,电子耗尽层,能带向上弯,阻挡势垒
,注入接触(空穴)、空穴积累层;欧姆接触:,注入接触(电子)、电子积累层;中性接触:,无界面电荷;imimimimmi1)电接触(M-I,M-S体系)1接触2)化学与物理吸附,双(偶)电层,依据两相的电负性交换电荷
3)摩擦,流动带电、机加、挤出、压制等
哈尔滨理工大学电介质中的空间电荷效应电介质中的空间电荷效应3)Fowler-Nordheim发射(高场区)(3)2)场助热电子发射(中场区)(2)1)热电子发射(高温区)(1))exp(2kTATJmT)exp(kTEJJsTE21)4(03es)exp(2'EBEAJE2.电极发射4)隧道效应(7)3)从陷阱中释放(6)2)电子碰撞电离(5))]