1单晶炉维修和保养规程一、坩埚轴驱动部件的维修：坩埚轴驱动部件是设备的核心部件，要求各种精度都比较高，要加强维护，坩埚轴是多晶硅料的支撑轴，其精度高，工艺复杂，应重点维护。1、要经常检查其冷却水的情况，以免因冷却水不充分而被烧坏，拆下后需垂吊放置；2、坩埚轴驱动装置的导柱及直线运动轴承是关键的导向元件，应妥善维护，导柱须保持清洁，严禁灰尘、杂物附着，定期涂抹油脂，以防绣蚀。直线轴承出厂时已作充分润滑，必要时每隔一年加注锂基润滑脂一次，加油时，松开油盖，提起油封，推出轴承，认真清洗后方可注入新油（见附图9），发现导柱与轴承间有研损时，应将轴承微转一角度，使滚珠避开研损痕迹，以确保平衡运行。导柱与轴承是配套装配的，请勿装错；3、滚珠丝杆精密杆付、涡轮、齿轮等传动部件，应经常保持清洁、润滑，严禁灰尘等脏物污染，以免零件损坏和失灵；4、坩埚轴快速升降传动涡轮，每两个月打开润滑孔在涡轮齿面上润锂基润滑脂一次，请定时清除波纹管中的杂物；二、谐波减速器的维修（见附图M11）谐波减速器是由波发生器所产生的机械波，通过柔性齿轮变形，从而产生齿间相对位移而达到传动目的的一种大减速比减速机构，使用中一般不加油，不必拆卸，在必要时，拆后装配务必将个零件清洗干净，其轴承内应涂201润滑脂，齿面应加7011特钟脂；三、籽晶提拉部件的维修（见附图M17，M18）21、籽晶提拉部件是单晶炉的关键部件，卷轮箱是核心部分，上面设有观察孔，用来观察内部卷轮及软轴钢丝绳的工作情况，卷轮箱左端联有超限位箱，用来保护卷轮箱不会因其超程而被损坏，卷轮箱的右端由双级减速器传递转知距，减速箱内的涡轮涡杆传动件，每三个月加注适量润滑油；2、不锈钢丝软轴定额承载150Kg，每次开炉后，应检查承重头部钢丝绳是否烧损，如有烧损应将烧损部分及时去掉，外层编织层拉紧并打个节扣（有条件的可用氩弧焊封头），一根钢丝绳可供几次修整使用，但每次修整后，都应核实所剩钢丝绳长度是否能满足使用要求，否则应更换新的软轴钢丝绳；3、卷轮箱内的调整螺母（铜螺母）不得随意拆动，以免影响软轴的对中，如果必须要拆卸时，装时一定要认真调整，最终保证软轴读中，软轴钢丝绳在保管、使用、维修安装中不准造成任何死弯现象，否则在运行中会引起抖动；四、水冷系统的维修每次装炉前要检查各水路是否畅通，关键部位的水温巡检传感器安装是否正常，拉单晶时，当水压报警时要及时处理，如有漏水时要及时采取措施，当发现结垢时，应先用醋酸进行除垢，然后用清水冲洗，最后用压缩空气吹尽余物；五、隔离阀的维修每次装炉前都要检查阀口密封圈是否完好，检查隔离阀操作是否轻松、无卡滞，如发现问题应及时排除；六、管道的维修3真空管道是联接主机与真空泵的通道，真空管道能否完好工作直接影响着设备的正常工作，因此，也应重视这方面的维护，除尘器中的过滤网每2-3炉清理一次，抽气管道每1炉清理一次，管道的温升直接影响着泵的寿命、抽气速率及密封圈的寿命，应经常检查管道的冷却水，保证畅通；单晶炉常见故障现象、原因及排除方法故障现象产生原因排除方法1真空抽不到指标1、真空密封室密封不良2、球阀处密封松动或损坏3、真空泵有故障1、对真空室进行分段检验确定漏点，进行排除；（磁流体密封处加注磁液）2、调整球阀或更换密封圈；3、参阅真空泵说明书；2埚升不稳1、丝杆、螺母有污物，润滑不良；2、电磁阀离合器工作不良；3、齿轮带松动或齿合不良；4、给定电位器接触不良；5、测速电机有问题；6、电机抖动，放大倍数过大；1、清洗丝杆丝母，加润滑油；2、调整电磁离合器，控制间隙至0.4-0.6;3、调整齿行带，使其合理齿合；4、更换电位器；5、检查测速机刷头或更换电机；3埚转不稳1、坩埚轴有卡滞现象；2、楔形带有松动；3、测速机有问题；4、坩埚轴定位轴承工作不良；5、同第二项中的第4、6条1、清理波稳管中的杂物；2、调整楔形带张力；3、检查测速机刷头或更换电机；4、清洗润滑轴承或更换轴承；5、同第二项中的第4、6条；44籽晶轴升降不稳，有抖动现象1、卷丝轮与牵引套联接松动；2、钢丝绳有毛刺或拆痕；3、减速机润滑不良4、电刷环接...
