洁净室标准规格说明(一)目前世界各国虽有自订规格,但普遍还是采用美国联邦标准209为多,今就209D及209E和世界上其他各国之所订标准再做更进一步之介绍与相互比较
表1-1为美国联邦标准209D之洁净室规格
表1-1美国联邦标准209D洁净室规格至于209E和209D等最大之不同点在于209E表示单位增加了公制单位,即洁净室等级以“M”字头表示,如M1、M1
5、M2、M2
依此类推,其目的在于配合国际公制单位之标准化
M字母后之阿拉伯数目字是以每立方公尺中≧0
5um之微尘粒子数目字以10的幂次方表示,而取指数为之;若微尘粒子数介于前后二者完全幂次方之间(即非整数,则以1
表1-2即为1992年9月新颁布之美国联邦标准209E之内容,前述之M字母后的数字,可从表中0
5um列的数值中求出,读者可试算之
表1-2美国联邦标准209E美国联邦标准FS209D都以英制每立方英尺为单位,而日本则是采用公制,即以每立方公尺为单位;另外209D与日本JIS(B9920-1989)标准中另一不同点为209D是以0
5um之粒子数为计数基准,而日本则以0
1um微粒子为计数标准
日本标准之表示法是以Class1,Class2,Class3,
Class8表示,即最好之等级为Class1,最差则为Class8,表1-3为日本JIS(9920-1989)之标准规定的粒子上限数(个/m3)
其Class1,Class2
之数目字以0
1um粒子为基准,而以每立方公尺中微尘粒子总数中化为10之幂次方,取其指数而得
表1-3日本JIS(9920~1989)标准洁净室标准规格说明(二)在德国工业及医学等之多数领域中,洁净室是为相关产业界所重视和期望发展之技术,因此在1967年完成了德国的洁净室规格,在德国规格中洁净室等级之