1/6质谱检漏仪介绍及在压力容器检漏上的应用(2008/10/0217:40)当压力容器储存气体时，漏气对整个容器的气体储存来说是个很大的损失。为解决此问题对制造生产压力容器的厂家来说，历来是个既麻烦又要花费大量时间、人力、精力、财力的事情，但又不一定能够很好的解决泄漏这个关键性的问题。一般压力容器检漏先进行总漏率检测，当总漏率超出允许值后，再进行各个泄漏孔的检测，对超过允许值的漏孔进行修补。用加压水中气泡法检压力容器，能寻找出较大的漏孔位置，但很难检出微漏和渗漏，特别是压力容器随着时间的渗漏（包括材料本身的渗漏）问题。一般国内的企业在压力容器检漏时经常采用以下几种方法：加压放置法：充入一个~三个以上大气压的空气，放置24小时或更长，看压力表上压力读数是否下降，用这种方法可检到10-1Pa？m3/S左右的最小漏率。着色法：充入氨气，在外面着色，可检到10-1Pa？m3/S左右的最小漏率。超声波法：充入一个~三个以上大气压的空气，用超声波检测器检漏，可检到10-2Pa？m3/S左右的最小漏率。加压水中发泡法：充入一个~三个以上大气压的空气后，放入水中，看水中有否气泡出现（可检到10-3～10-4Pa？m3/S），24小时积累后可检到10-5Pa？m3/S左右的最小漏率。涂抹肥皂水法：充入一个~三个以上大气压的空气，在怀疑处涂上肥皂水，看是否有肥皂泡出现，可检到10-2～10-3Pa？m3/S。放射性气体法：可检到10-11Pa？m3/S。有放射污染危险卤素检漏法：可检到10-5～10-6Pa？m3/S氦质谱检漏仪:吸枪法可检到10-3～10-7Pa？m3/S，真空法可检到100～10-13Pa？m3/S。从上述检漏手段来看，可以得出氦质谱检漏仪的检漏范围最宽，精度高，安全等优点。在国外和外国在国内的独资、合资企业中广泛得到应用，现在国内的企业也在随着用户要求的提高，和产品的升级换代、走出国门、与外资配套等情形，逐渐增加了氦检漏仪的应用机会。下面我将详细介绍一下岛津制作所生产的氦质谱检漏仪的特性和工作原理。氦质谱检漏仪检漏也是无损检测（X射线、涡流、超声等）的多种方法中的一种，是压力容器无损检测的最佳形式。广泛应用于航天、航空、核电、电子零部件、真空设备、电真空、电力、石化、半导体前道、空调制冷等新技术的领域。一．概述自从1954年岛津制作所在日本研制生产出日本第一台氦质谱检漏仪，至今已有近50年的历史。通过不断地开发、研究，岛津新一代的氦质谱检漏仪具有高精度、高灵敏度、低本底、宽量程、高稳定性、触摸式液晶显示屏、采用菜单式人工控制、微机化全自动控制、多用途、2/6易维护、操作简便的特点，能快速反应，定位、定量、定性的反映漏孔的情况，广泛应用在航天航空核能利用，科研，电子电工，制冷和汽车工业，真空科学，冶金，化工，半导体，通讯，压力容器，精密机械加工等领域。泄漏的检查，存在着各种各样的方式，其中之一便是使用氦质谱检漏仪的检查方式。利用氦气作为示踪气体，来对各种容器的泄漏、微漏和渗漏(包括材料本身的)进行检测。使用氦气进行检漏是考虑到氦气具有以下一些优点：（不用氢气，因为氢气有可燃可爆的危险性）氦气在空气中含量非常少，只有5ppm（空气中占约1/200，000）；在被测试的物体内部所残留的空气中的氦气含量也非常少；由于氦分子量小、分子直径小（在元素周期表中在仅排在氢的后面），即便是极其微小的渗漏孔也能方便地通过；由于具有化学上的不活跃性，不会污染排气系统及被测试物体；由于具有对人体无害性和不可燃爆性，因此使用安全方便；对分析管的分辨率要求并不高，容易实现高灵敏度；不存在环境污染问题。二．氦质谱检漏仪的基本原理及主要组成部分氦质谱检漏仪的性能、特性好坏取决于质谱分析室。质谱分析室的工作原理是对离子源气体进行电离，电离出来的正离子经过电场加速聚焦通过缝隙进入均匀磁场，离子束在磁场力的作用下，旋转180o或90o按一定轨迹到达收集极，此种形式称之为磁性偏转分析形式。然后，经小电流放大器、微处理器，控制器等线路处理直至液晶屏显示出读数的大小。三．氦质谱检漏仪在压力容器中的常用方法在压力容器中，使用氦质谱检漏仪检漏常用的方法大体可分为三种，即喷氦法（负压法），吸...
