功率半导体器件测试用脉冲电流源的设计与实现随着大功率设备在工业控制领域持续发展,功率半导体器件的功率水平也随之不断提高,从而给生产和测试带来诸多挑战
本文对国内外脉冲功率技术进行深入研究,通过电磁暂态分析软件对理论模型进行仿真以确定脉冲电流源内部网络分布参数,详细描述脉冲电流源软硬件设计与实现方法,最后对其输出特性进行验证
目前,该脉冲电流源在IGBT大功率半导体器件测试中取得较好的效果
【关键词】功率半导体器件脉冲电流源性能验证1引言随着功率半导体器件的发展,绝缘栅双极型晶体管(InsulatedGateBipolarTransistor,IGBT)因具有输入阻抗高、开关损耗小、通断速度快、控制电路简单等特点,正在逐步替代如MOSFET、SCR、双极型达林顿管等功率器件,广泛应用在可逆变电路、伺服控制系统、交流电机控制、不间断电源、斩波电源等工业生产中,其性能是否优良直接关系着工程的品质和成败
功率半导体器件相关参数的测试问题已经成为功率半导体器件生产商、装备制造单位和计量校准部门非常关注的问题
在功率半导体器件实际测试过程中,当测试设备需要对被测器件施加较大的功率时,被测器件因为芯片温升导致测试数据漂移不稳定,甚至施加持续时间过长以致器件损坏
为了减少温升带来的影响,国标规定了功率半导体器件参数测试可采用脉冲测试法,即测试设备对被测器件施加满足功率条件的瞬时单次脉冲信号,对半导体器件进行参数测试
然而在国内功率半导体器件测试设备的市场中,国外进口设备占据绝大部分,典型的设备有瑞士LEMSYSSA公司针对IGBT测试的TRds系列
国内公司生产的测试设备在测试范围和性能指标均与国外同类产品有一定差距
本文所研制的脉冲电流源,能够满足国内大部分功率半导体器件测试时的功率和指标要求
2系统总体结构脉冲电流源采用模块化的设计结构,由高压充电单元、充电保护单元、高压测量单元、LC