RENA 清洗设备中文版说明书 仅操作部分 6、操作 6.1 开机 6.1.1 步骤 1：开机前准备 第一步：打开药液供给侧的手动阀 第二步：关闭所有后侧门 第三步：关闭所有服务和维修窗口的盖板 第四步：解锁所有急停按钮 6.1.2 步骤 2：给机器上电 第一步：将机器的主开关打到 ON 的状态 此时机器有电 第二步：移走 UPS 电源的盖板 第三步：将 UPS 的主开关打到 ON 的状态 第四步：将主机的主开关打到 ON 的状态 此时操作系统启动 6.1.3 步骤 3：给 CHILLER 上电 第一步：将 CHILLER 的主开关打到 ON 的状态 此时 CHILLER 启动 6.1.4 步骤 4：登录 Window s 第一步：选择 Operator 用户 第二步：输入 Operator 密码，点击确定 6.1.5 步骤 5：启动应用软件 6.1.5.1 启动 SPS 软件 第一步：双击 WINLC RTX SPS 软件启动 SPS 软件开始自动运行，直到 ON 和 RUN 显示为绿色 第二步：将 WINLC RTX 最小化 6.1.5.2 启动 Server 第一步：双击 Server 第二步：点击 Open Project 第三步：选择 Project Path 第四步：点击[+] 第五步：点击[Configuration] 第六步：点击 OK 第七步：点击 RUN 第八步：点击 Start Tag Provider 第九步：最小化服务器程序 6.1.5.3 启动用户界面 第一步：双击[Client] 6.1.6 步骤 6：用户登入 第一步：登入 Process 6.1.7 步骤 7：控制系统上电 第一步：按动 ON 按钮 6.2 工艺初始化准备 第一步：登入 Serv ice 第二步：了解所有报警信息 第三步：将机器打到 Manu al 状态 第四步：对所有的功能单元下载 Recipe 第五步：冷却系统补液 第六步：清洗槽补液 第七步：所有 dosage tanks 补液 第八步：所有 Pu mp tanks 补液 此时机器用于工艺已准备好 6.3 自动生产 第一步：登入 Operator 用户 第二步：确认所有的功能单元都处在 Ready 状态 第三步：点击 Start produ ction 6.3.3 停止自动生产 6.3.3.1 停止预定的自动生产 第一步：点击 Schedu led stop 弹出一个窗口 第二步：点击 YES 仍在机器内的硅片跑出后停止 6.3.3.2 停止未预定的自动生产 第一步：点击 Unschedu led stop 弹出一个窗口 第二步：点击 YES 仍在机器内的硅片将过刻 6.3.3.3 停止自动生产—关闭 步骤 1：停止预定的自动生产 第一步：点击 Schedu led stop 第二步：点击 YES 仍...
