SEMI S2 半 导 体 制 程 设 备 安 全 准 则 2003 年 9 月 29 日 Content: 1
目 的 ； 2
范 围 ； 3
注 意 事 项 ； 4
参 考 标 准 ； 5
术 语 ； 6
安 全 理 念 ； 7
一般 准 则 ；8
评 估 过 程 ； 9
提供 给 使 用 者 的 文 件 ； 10
危 险 性 警 告 标 志 ； 11
安 全 连 锁 装 置 ； 12
紧 急 停 机 ； 13
电 气安 全 ； 14
消 防 安 全 ； 15
化 学 物 质 加 热 槽 ； 16
人 体 工 学 ； 17
危 险 能 量 隔 离 ； 18
机 械设 计 安 全 ； 19
地 震 保 护 ； 20
自 动 机 械 设 备 ； 21
环 境 因 素 ； 22
排 气 ； 23
化 学 品 安全 ； 24
游 离 辐 射 安 全 ； 25
非 游 离 辐 射 安 全 ； 26
激 光 安 全 ； 27
目 的 (PURPOSE) 为 半 导 体 制 程 设 备 提 供 一 套 实 用 的 环 保 、 安 全 和 卫 生 准 则
范 围 (SCOPE) 适 用 于 所 有 用 于 芯 片 制 造 、 量 测 、 组 装 和 测 试 的 设 备
注 意 事 项 (LIMITATIONS) 3
1 不 可 作 为 检 验 是 否 符 合 本 地 法 规 要 求 的 依据； 3
2 没有 提 供 非 常详细的 半 导 体 制 程 设 备 ESH 准 则 ； 3
3 参 考 了众多的 国际性 法 规 、 标 准 等
但只是 被引用 的 条文 适 用 于 此标 准 ，并不 是 被引用的 标 准 或法 规 等所 有 条文 都适 用
参 考 标 准 (REFERENCED S
