真空技术 真空设备的检漏方法选择 1 范围 本标准规定了真空设备检漏方法选择的人员资格要求、通用要求、检漏实施的安全要求、选择程序及选择原则、检漏方法的特征参数。 本标准适用于真空设备的检漏方法选择，适用的真空设备包括真空容器、真空管道、真空泵、真空阀门、真空镀膜设备、真空干燥设备、真空冷冻干燥设备、表面分析设备、真空冶金设备、空间环境模拟设备、半导体生产设备等真空设备。工作时涉及真空状态的其他设备的检漏方法选择也可参照本标准执行。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T 3163 真空技术 术语 GB/T 9445 无损检测 人员资格鉴定与认证 3 术语和定义 GB/T 3163界定的以及下列术语和定义适用于本文件。 3.1 漏率 leakage rate 在规定条件下，一种特定气体通过漏孔的流量。 3.2 有效最小可检漏率 effective minimum detectable leakage rate qemin 在具体的工作条件下，检漏方法所能检出的最小漏孔漏率。 3.3 允许漏率 acceptable leakage rate 真空设备正常工作所能接受的最大漏率。 3.4 粘滞漏孔 viscous leak 漏孔的质量流率反比于流动气体粘度的一种漏孔。 3.5 分子漏孔 molecular leak 漏孔的质量流率正比于流动气体分子质量平方根的倒数的一种漏孔。 4 人员资格 建议进行检漏方法选择的人员具备GB/T 9445所要求的2级或2级以上资格。 5 通用要求 5.1 检漏方法 检漏方法应包括基础检漏方法和应用技术两部分。 示例：氦质谱真空护罩法的基础方法是氦质谱真空法，应用技术是护罩技术。 5.2 选择检漏方法的要求 选择检漏方法时应综合考虑有效最小可检漏率、检漏技术条件、安全因素和经济因素。 5.3 允许漏率 5.3.1 允许漏率的组成 真空设备所有有密封要求的组成部分及连接处的漏率之和组成真空设备的允许漏率，且应不大于真空设备的允许漏率。 5.3.2 确定的要素 允许漏率应与真空设备的功能和工作条件相符，并明确检漏条件。主要的检漏条件有： a) 温度； b) 压力； c) 示踪介质。 5.4 检漏的要求 5.4.1 漏率修正 检漏条件应与真空设备的工作条件一致。如无法满足，可按附录A修正漏率。 5.4.2 泄漏稳定时间 选择任何一种检漏方法进行检漏时，都应考虑泄漏稳定所需要的时间。...
