第一章 概论 (Introduction) 1-1 何谓精密制造 (Precision Manufacturing) (1) 加工精度(Working accuracy) 可区分为相对精度(Relative Accuracy)与绝对精度(Absolute Accuracy) (2) 绝对机度系指公差值(Tolerance) 如200±0.1mm 中之公差值±0.1mm 即为绝对精度 相对精度则为容许公差值与工件尺寸之比值 如0.1/200=0.0005 (3) 通常加工精度包含 (a) 尺寸精度(Dimension Accuracy)，如直径、长度、厚度等。 (b) 形状精度(Shape Accuracy)如真直度(Roundness)，圆筒度(Cylindricity)等。 (c) 表面精度(Surface Accuracy)，如表面粗度(Surface Finish)等 (4) 一般，所谓的加工精度是指尺寸与表面粗度(Surface Finish) 通常零件精度的要求比本身尺寸的万分之一(即相对精度)还高时，便可算是精密制造。然而在微机电系统(MEMS)中之微细加工(Micro Machining)，则以绝对精度来作为精密制造之判定标准。一般 cnc 工具机的尺寸精度等级是 10μm，磁盘驱动器是 1μm，光驱是 0.1μm，半导体制造设备是 0.01μm，而表面精度则为尺寸精度之十分之一，若能达成 8 述标准，那么就可称为精密制造。 然而究竟到何种程度的加工程度，才能称得上精密加工(Precision Machining)，至是超精密加工(Ultra Machining)，奈米(毫微米)加工(Nano machining )呢?事实上是依各时代之技术水准而异，如图(一)及图(二)所示。 图(一)所示，当工件尺寸在 10 公分以下时，以相对公差(Relative tolerance)即公差与工件尺寸之比值来表示是否可称为精密加工。而当工件尺寸在 10 微米以下时(如微细加工Micro machining)则以绝对公差(Absolute tolerance)即公差本身之数值来表示是否可称为精密加工或超精密加工。 如图(二)所示，依据田口曲线(Taniguchi Curve)可知，加工精度随着年代变化很多。如超精密钻石轮 磨 加工在 2000 年时可达 1 奈米之精度，依据摩 自 定律 (Moore’ s Law)可知，芯 片 (Chip)上之晶 体管 密度(Transistor density)随年代之变化。 图(一) Application field for precision-machining in terms of absolute sizes and absolute and relative tolerances. 图(二) Definition for normal ,precision ,and ultra precision machining. Left side ordinate : increase of manufacturing accuracy over timeing to Taniguchi. Right side ordinat...
