TEM 实验报告 学 院: 材料科学与工程学院 班 级: 材型 1202 学 生: 刘玉蒙 学 号: ************ 时 间: 2015 年 7 月 实验报告 一、 实验目的与任务 1
初步了解透射电镜操作过程
初步掌握样品的制样方法
学会分析典型组织图像
二、透射电镜的结构与原理 透射电镜以波长极短的电子束作为光源,电子束经由聚光镜系统的电磁透镜将其聚焦成一束近似平行的光线穿透样品,再经成像系统的电磁透镜成像和放大,然后电子束投射到主镜简最下方的荧光屏上而形成所观察的图像
在材料科学研究领域,透射电镜主要可用于材料微区的组织形貌观察、晶体缺陷分析和晶体结构测定
透射电子显微镜按加速电压分类,通常可分为常规电镜(100kV)、高压电镜(300kV)和超高压电镜(500kV 以上)
提高加速电压,可缩短入射电子的波长
一方面有利于提高电镜的分辨率;同时又可以提高对试样的穿透能力,这不仅可以放宽对试样减薄的要求,而且厚试样与近二维状态的薄试样相比,更接近三维的实际情况
就 当 前 各 研究领域使 用的透射电镜来 看 ,其主要三个 性 能指 标 大致 如 下: 加速电压: 80~ 3000kV 分辨率: 点 分辨率为 0
35nm、线分辨率为 0
2nm 最高放大倍 数 : 30~ 100 万 倍 尽 管 近 年 来 商 品 电 镜 的 型 号 繁 多 , 高 性 能 多 用 途 的 透 射 电 镜 不 断出 现 , 但 总 体 说 来 , 透 射 电 镜 一 般 由 电 子 光 学 系 统 、 真 空 系 统 、 电 源及 控 制 系 统 三 大 部 分 组 成
此 外 , 还 包 括 一 些 附 加 的 仪 器 和 部 件 、 软件 等
有 关 的 透 射 电 镜 的 工 作 原 理 可 参 照 教 材 , 并 结 合