扫描电镜实验报告记录2 ————————————————————————————————作者:————————————————————————————————日期:3 HUNAN UNIVERSITY 姓名:扫描电镜实验报告姓名:高子琪学号: 201214010604 4 一
了解扫描电镜的基本结构与原理;2
掌握扫描电镜样品的准备与制备方法;3
掌握扫描电镜的基本操作并上机操作拍摄二次电子像;4
了解扫描电镜图片的分析与描述方法
二.实验设备及样品1
实验仪器: D5000-X衍射仪基本组成: 1)电子光学系统:电子枪、聚光镜、物镜光阑、样品室等 2)偏转系统:扫描信号发生器、扫描放大控制器、扫描偏转线圈 3)信号探测放大系统 4)图象显示和记录系统 5)真空系统2
样品:块状铝合金三
扫描电镜成像原理从电子枪阴极发出的电子束, 经聚光镜及物镜会聚成极细的电子束 (0
00025微米 -25 微米),在扫描线圈的作用下, 电子束在样品表面作扫描, 激发出二次电子和背散射电子等信号, 被二次电子检测器或背散射电子检测器接收处理后在显象管上形成衬度图象
二次电子像和背反射电子反映样品表面微观形貌特征
而利用特征 X 射线则可以分析样品微区化学成分
扫描电镜成像原理与闭路电视非常相似,显像管上图像的形成是靠信息的传送完成的
电子束在样品表面逐点逐行扫描,依次记录每个点的二次电子、背散射电子或 X 射线等信号强度, 经放大后调制显像管上对应位置的光点亮度,扫描发生器所产生的同一信号又被用于驱动显像管电子束实现同步扫描,样品表面与显像管上图像保持逐点逐行一一对应的几何关系
因此,扫描电子图像所包含的信息能很好地反映样品的表面形貌
X 射线能谱分析原理X射线能谱定性分析的理论基础是Moseley 定律,即各元素的特征 X 射线频率ν 的平方根