多晶硅块检验标准VIP免费

1 多 晶 硅 锭 /块 质 量 检 验 规 范 编 制 ： 审 核 ： 批 准： 年 月 日 发布 年 月 日正式实施 2 目 录 一. 适用范围 二. 引用标准 三. 检验项目 四. 检验工具 五. 实施细则 1. 硅锭/块电性能检测 2. 多晶硅块阴影检验 3. 硅块电性能阴影判定 4. 多晶硅块外观尺寸检验 附表 1：硅锭/块性能检验标准 附表 2：硅块外观尺寸检验标准 3 一.适用范围 本 细 则 规 定 了 多 晶 硅 锭 /块 的 电 性 能 /阴 影 杂 质 /外 观 尺 寸 的 检 验 项 目 、 测 量 器 具 、 检测 方 法 、 操 作 步 骤 、 判 定 依 据 ， 适 用 于 正 常 生 产 的 多 晶 硅 锭 /硅 块 的 质 量 检 验 。 二 . 引用标准 《 硅 锭 内 控 标 准 》 《 Q/BYL02 太 阳 能 级 多 晶 硅 片 》 《 硅 片 切 割 工 艺 文 件 》 三.检验项目 电 阻 率 、 少 子 寿 命 、 导 电 类 型 、 氧 /碳 含 量 、 外 观 、 几 何 尺 寸 、 硅 块 杂 质 /隐 形 裂 纹 四.检验工具 四 探 针 电 阻 率 测 试 仪 、 导 电 类 型 测 试 仪 、 少 子 寿 命 测 试 仪 、 红 外 阴 影 扫 描 测 试 仪 、游 标 卡 尺 （ 0.02mm 精 度 ）、 万 能 角 度 尺 、 钢 板 尺 五.实施细则 1. 硅锭/块电性能检测 1.1 硅块测试取样及测试面的选取 16 块 规 格 的 硅 块 每 锭 抽 测 A 块 、 B 块 和 F 块 三 块 ， 25 块 规 格 的 硅 锭 每 锭 抽 测 A 块 、B 块 、 G 块 、 M 块 四 块 ， 若 “测 量 样块 ”表面无法 测 试 时可选用 对称位置的 其他硅 块 代替。（ 测 量 样块 表面手感平 整 无明 显 “锯 痕 ”、“台 阶 ”等 现 象 ， 测 试 时保 证 测 试 平 面与少 子 寿 命 测 试 仪 测 试 头 无摩 擦 ， 防 止 损 伤 “测 试 头 ”， 测 试 过 程 中 “测 试 头 ”与 测 试 平面距 离 (2±1mm)基 本 保 持 一 致 ）。 通 常 选择 “测 量 样块 ”的 第2 或3 面（ 硅 块 上 箭 头 所 指 方 向 为 第1 面， 顺 时针 依 次为2、 3、 4 面）。 若 A 块 第2 或3 面质 量 不 符...