1 、 电 子 束 入 射 固 体 样 品 表 面 会 激 发 哪 些 信 号
它 们 有 哪 些 特 点 和 用 途
答 ： 具 有 高 能 量 的 入 射 电 子 束 与 固 体 样 品 表 面 的 原 子 核 以 及 核 外 电 子 发 生 作 用 ， 产 生 下 图所 示 的 物 理 信 号 ： ① 背 散 射 电 子 背 散 射 电 子 是 指 被 固 体 样 品 中 的 原 子 核 反 弹 回 来 的 一 部 分 入 射 电 子 ，其 中 包 括 弹 性 背 散 射 电子 和 非 弹 性 背 散 射 电 子
弹 性 背 散 射 电 子 是 指 被 样 品 中 原 子 核 反 弹 回 来 的 散 射 角 大 于 90°的那 些 入 射 电 子 ， 其 能 量 基 本 上 没 有 变 化
非 弹 性 背 散 射 电 子 是 入 射 电 子 和 核 外 电 子 撞 击 后 产生 非 弹 性 散 射 而 造 成 的 ， 不 仅 能 量 变 化 ， 方 向 也 发 生 变 化
背 散 射 电 子 来 自 样 品 表 层 几 百 纳米 的 深 度 范 围
由 于 背 散 射 电 子 的 产 额 随 原 子 序 数 的 增 加 而 增 加 ， 所 以 ， 利 用 背 散 射 电 子 作为 成 像 信 号 不 仅 能 分 析 形 貌 特 征 ， 也 可 用 来 显 示 原 子 序 数 衬 度 ， 定 性 地 进 行 成 分 分 析
② 二 次 电 子 二 次 电 子 是 指 被 入 射 电 子 轰 击 出 来 的 核 外 电 子
二 次 电 子 来 自 表 面 50-500 Å 的 区域， 能 量为 0-50 eV
它 对试样 表 面 状态非 常敏感， 能 有 效地 显 示 试样 表 面 的 微观形 貌
由 于 它 发 自试样 表 面 层
