MEMS技术及相关产品介绍VIP免费

MEMS 技术及相关产品介绍 1 目录 1、 MEMS的定义 ............................................................................................................................ 2 2、 MEMS的历史 ............................................................................................................................ 2 3、 MEMS的发展趋势 .................................................................................................................... 3 （ 1） 传感MEMS技术： ................................................................................................. 3 （ 2） 生物MEMS技术： ................................................................................................. 4 （ 3） 信息MEMS技术： ................................................................................................. 4 （ 4） 微型生物芯片： ....................................................................................................... 5 （ 5） 微型机器人： ........................................................................................................... 5 4、 MEMS技术相关产品 ................................................................................................................ 6 MEMS加速度计 ...................................................................................................................... 6 MEMS陀螺仪 .................................................................................................................. 7 MEMS麦克风 .................................................................................................................. 8 MEMS传感器 .................................................................................................................. 9 5、展望........................................................................................................................................... 10 2 MEMS 技术及相关产品介绍 摘要：本文简述了MEMS 技术的...