MEMS 技术及相关产品介绍 1 目录 1、 MEMS的定义 ............................................................................................................................ 2 2、 MEMS的历史 ............................................................................................................................ 2 3、 MEMS的发展趋势 .................................................................................................................... 3 ( 1) 传感MEMS技术: ................................................................................................. 3 ( 2) 生物MEMS技术: ................................................................................................. 4 ( 3) 信息MEMS技术: ................................................................................................. 4 ( 4) 微型生物芯片: ....................................................................................................... 5 ( 5) 微型机器人: ........................................................................................................... 5 4、 MEMS技术相关产品 ................................................................................................................ 6 MEMS加速度计 ...................................................................................................................... 6 MEMS陀螺仪 .................................................................................................................. 7 MEMS麦克风 .................................................................................................................. 8 MEMS传感器 .................................................................................................................. 9 5、展望........................................................................................................................................... 10 2 MEMS 技术及相关产品介绍 摘要:本文简述了MEMS 技术的...