氦质谱检漏仪使用说明豪威真空光电股份有限公司文件共16页第1页氦质谱检漏仪使用说明一、 检漏仪及其真空系统的组成VARIAN959-50检漏仪检漏漏率范围从1X10-3（毫升 / 秒）到2X10-10（毫升 /秒）（相当于 30 年漏 1 毫升），它主要由质谱管、高真空泵、热偶规管、一系列按钮控制的阀、 测试接口、真空和漏率指示，以及电路板等部分组成，其真空系统结构为（分子泵型），如图 1：图 1 检漏仪真空系统结构图（分子泵型）检漏仪开启后， V1、V2、V6 阀打开，测试口与质谱管保持真空氦质谱检漏仪使用说明豪威真空光电股份有限公司文件共16页第2页连接。如果按下“ VENT”键，放气阀 V3 打开， V1 关闭，测试口处于大气状态，同时V2 打开，使分子泵、质谱管和机械泵连通。分子泵运行时， 质谱管真空度要达到2X10-4TORR 以上，才能给离子源灯丝加热。二、 检漏仪工作原理氦质谱检漏仪使用说明豪威真空光电股份有限公司文件共16页第3页图 2 检漏仪工作原理图如果被检系统有微小漏孔， 在小孔周围喷氦气时， 总有部分氦原子会通过漏孔进入检漏仪接口，通过其真空系统扩散到质谱管。质谱管是检漏仪核心组成部分，参见上图2，在电场和磁场作用下，灯丝发射电子使气体电离， 电离后带正电的离子通过聚焦和孔集中后，进入分析磁场（磁场强度为2340 高斯），由于受洛仑磁力作用，离子会发生偏转， 其它外界条件相同的情况下，偏转半径由带电粒子电量与质量之比即荷质比决定， 荷质比小的离子偏转半径小，荷质比大的粒子偏转半径大， 只有氦离子才能通过抑制小孔到达收集极，信号经放大后，检漏仪报警。三、控制和指示器功能说明：序号控制、指示器功能1 Vent Start Hold 和 Test按钮检漏仪开关时，控制各个阀的动作顺序2 Pressure(压力指示 ) 显示测试口压力，单位 millitorr 3 Leak rate(漏率指示 ) 显示漏率，单位 std cc/sec(标准立方厘米每秒 )，超过或低于测量量程，分别由上下端两个发光 二 极 管 （ LED） “over ”和“under ”显 示 。 随 “range”和“Hi-Lo Sensitivity”档位选择不同，×10-指数窗口将显示 4、5、6、7、8 或 9 作指数氦质谱检漏仪使用说明豪威真空光电股份有限公司文件共16页第4页4 Range（量程选择）量程选择共四个档位。旋钮上端圆孤指示从左到右，由最小漏率（最高灵敏度）到最大漏率（最低灵敏度）5 Zero（调零）电位器调节零点6 FIL(灯丝指示 ) 质谱管...
