下载后可任意编辑JSM-7800F 扫描电镜操作规程1、 确认Maintenance界面内的GUN/AC内GUN参数( 电流值稳定) 和SIP1和SIP2的真空度正常方可运行! ! 2、 选择正确的样品座放置样品并固定, 样品高度不要超过样品座上方 10mm。注意: 接触样品座, 取放样品时务必戴手套操作! ! ! 3、 装样品前必须确认高压处于关闭状态。4、 点击 SEM 应用程序软件中 Specimen 窗口的 Exchange Position 按钮, 使样品交换室控制面板 EXCH POSN 灯点亮, 并确认样品台处于样品交换的位置( X: 0.000mm, Y: 0.000mm, Z=40.0mm, R: 0.00, T: 0.00) 。5、 按下 VENT 按钮对 Exchange chamber 放气, 直至 VENT 常亮, 表示样品交换室处于大气状态。下载后可任意编辑6、 松开交换室锁扣, 打开样品交换室, 将已固定好样品的样品座, 按箭头方向置于样品座夹具内。7、 完全关闭样品交换室门, 扣好锁扣。 8、 按下 EVAC 按钮, 开始抽真空, EVAC 闪耀, 待真空达到要求时, EVAC 常亮。9、 手持样品交换杆, 将样品杆放下至水平并向前轻推, 将样品Holder 完全送进交换室中, 注意当 HLDR 灯亮起后, 再完全拉出样品杆, 垂直立起放置, 此时样品已正常放置于样品室内。注意: 在拉动样品杆时, 若有警报声, 应立即停止操作, 将样品杆归位, 检查操作步骤是否正确。下载后可任意编辑10、 在 SEM 应用程序软件界面正确选择所使用 Holder 的类型, 输入样品高度值, 点击 OK 确认。11、 输入 Z 值 10mm。11、 查看样品室真空度, 确仔细空度小于 5.0×10-4 Pa 时才可开始进行图像操作。12、 观察样品, 猎取图像。( 1) 点击 ON, 打开高压, 根据样品选择所需的电压。( 2) 假如有多个样品, 按下 LDF 按钮切换到低倍模式, 选择要观察的样品位置, 选好后按 LDF 按钮切换回高倍模式。( 3) 确认Scanning Mode在Quick View状态, 寻找样品表面的明显特征。先切换到较高倍率, 转动FOCUS的旋钮进行聚焦, X、 Y散光像差校正旋钮进行像散调整, 调整亮度与对比度( 可按ACB自动调整或手动调整) , 直至样品表面特征的图像清楚为止( 低倍率时, 利用AUTO键进行自动对焦) 。然后切回所需之倍率进行图像观察。a) 假如聚焦时出现图像是模糊的, 需要进行电子束对中调整。b) 按键盘上 RDC IMAGE 键, 打开调整窗口, 按键盘上 WOBB键, 此时图像会来回摆动, 旋转键盘上 X、 Y 调整...
