简单紧凑的大步长线性压电步进电机QiWang1andQingyouLu1,2,a)1合肥微物质科学国家实验室,中国科学技术大学,安徽合肥230026,中华人民共和国2强磁场实验室,中国科学院,安徽合肥230031,中华人民共和国的中国(2009
11接收;2009
16通过;2009
14网络出版)我们提出一篇关于新型压电步进电机的文章,它具有高密度,刚性,简单,和任意方向可操作性的特点
虽然测试在室温下进行,但是由于宽松的操作条件和大步长,该电机也能在低温下工作
电机由一个压电扫描器管来运行,它的轴向几乎被切成两半,通过轴的弹簧部分夹持一个空心轴内部两端
双驱动电压仅使压力管的两部分在一个方向上变形,且能反向移动轴承以恢复原状,反之亦然
©美国物理研究所[工业部:10
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3197381]一.简介扫描探针显微镜(SPM)在一些有重要类型的原子甚至是亚原子研究的纳米技术领域是一个功能强大的工具
显微镜的一个关键组成部分,就是它那个能在纳米范围内粗略接近被测物的末端或者样品的定位器,这多半需要一个压电步进电机
1-11压电电动机在其他领域也有重要应用,例如显微镜在现代光学12,细胞或者DNA控制中的定位13
到现在为止,在尺蠖3,14-19、甲虫类生物5-7,10,20-22、剪切压电步进电机2,8,9,11,23,24,惯性滑块4,25-28等文献中找到了各种各样的压电电动机
然而,他们都有着严重的缺点
对于前三种而言,每一种都需要三个或者更多的电压驱动才能被操作,这使得电机的结构和控制都变得太过复杂
在小领域(极端环境条件)或者微信号测量等方面,他们的可靠性和应用程度成为了一个很大的问题
惯性滑块虽然简单,但是特性不够硬(容易产生振动,从而降低了原子图像的品质),并且无法产生足够的推动力
在这片文章中,我们阐述了一个不具有以上限制的压电电动机