中国大陆已有100多家从事微米纳米技术研发的组织。同时，有超过50家的MEMS企业在近五年里成立和发展。其中，有两家具有代表性的企业： 1、重庆金山科技（集团）开发了无线胶囊内窥镜系统，年销售量达到数万台，并且销售数百台大尺寸的生产设备。该公司拥有多项高技术方案，包括硅基微泵，胶囊内窥镜等，年产值达数亿人民币。 2、位于江苏无锡的美新半导体有限公司（MEMSIC）发明了基于标准 CMOS工艺的MEMS-IC 加工工艺及相关测试技术，开发了 20 多种加速度传感器并已大规模生产，月产量达500 万并应用了 30 多项专利。美新公司已于 2007 年12 月 15 日在纳斯达克上式，融资 1 亿美元，市值达到 2 亿 3 千万美元。 3、作为本土 MEMS 公司的典型代表，苏州敏芯微电子技术有限公司以其先进的技术、强大的资源整合能力以及新颖的商业模式尤其值得被关注。与多数 MEMS 初创公司采取独立设计、制造外包的Fables s（无生产线 IC 设计公司）模式不同，敏芯始终把自己定位为本土MEMS 技术的输出者及 MEMS 产业资源的整合者。敏芯的核心技术从硅麦克风器件模型的建立、工艺制程到封装及测试均为独立研发。技术研发而非组织生产是敏芯的灵魂，所以敏芯乐于与传统的半导体厂商分享其技术成果，共同培育 MEMS 产业链。 国内MEMS 现状(zz) 今天在网上看到一篇文章，把国内MEMS发展现状总结了一下。个人感觉他总结的比较全面，但是具体对不对，有没有参考价值，我就真不太知道了。 1、国内MEMS界的第一牛人当数复旦大学的鲍敏杭鲍老师。鲍老师做传感器做了十多年了，有深厚的理论基础和实际经验，目前是S&A和 JMM两本杂志的refree吧，不知道是不是JMEMS的refree。印象中记得好像当过 MEMS conference的审委。复旦现在是国内压阻方面的大拿，出了很多压阻方面的人才。想想复旦的条件和他们做的成果，很是让人佩服。 2、国内目前（MEMS）工艺条件最好的当数北大，尤其是深槽刻蚀技术，已经张大成老师摸的很透彻，是世界水平。但是别的就一般了。北大的几样法宝：深槽刻蚀机，双面光刻机，和一套键和设备。目前已经开发出国内很流行的两套体硅工艺和一套单层多晶硅的表面硅工艺。但是北大做 MEMS比较晚，97年才开始做 MEMS。所以基础还比较薄弱，没有深厚的功底。北大目前在MEMS CAD方面也做了很多的工作，主要是973项目的任务。但是它的主要优势还是在加工工艺上。 3、清华做 MEMS的有微所和精仪的两拨人，都做的不...
