微纳加工技术实验指导书董连和 孙艳军 长春理工大学光电工程学院二○○八年十月目 录下载后可任意编辑实 验 一 刻 划 刀 具 制 作 与 研 磨 … … … … … … … … … … … … … … … 1实 验 二 分 划 板 刻 制 与 检 验 … … … … … … … … … … … … … … … … 4实 验 三 圆 光 栅 紫 外 光 刻 … … … … … … … … … … … … … … … … … 8实 验 四 光 学 度 盘 检 验 … … … … … … … … … … … … … … … … … … 11实 验 五 圆 光 栅 照 相 复 制 … … … … … … … … … … … … … … … … … 13实 验 六 衍 射 光 栅 刻 划 … … … … … … … … … … … … … … … … … … 16实 验 七 光 学 标 准 尺 刻 划 … … … … … … … … … … … … … … … … … 18实 验 八 八 台 阶 二 元 光 学 元 件 微 细 光 刻 … … … … … … … … … … … 20下载后可任意编辑实验一 刻划刀具制作与研磨一．实验目的刻划刀具材料,形状和研磨的质量是决定刻划刀性能的基本因素。经过实际操作, 了解刻划刀具的种类、 材料、 几何参数及用途, 掌握专用工装的设计及刀具研磨的技巧。二.实验原理 以靠模作为依托, 刀坯一端与磨具相对运动产生机械磨削, 实现所需要的形状和结构尺寸。三．实验工具及材料: 15J 读数显微镜( 100X) 一台XTT 实体显微镜( 60X) 一台粗磨油石 ( 180 目) 一块精磨油石( W20) 一块抛光油石(
