下载后可任意编辑无尘车间管理制度1下载后可任意编辑无尘车间管理制度(某世界 500 强半导体企业内部法律规范-仅供参考) 目 录1
0 无尘车间管理的目的2
0 无尘车间管理的原则3
0 适用范围4
0 管理程序5.1 无尘车间施工管理制度5.2 无尘车间洁净度定期检测制度/测量标准5.3 无尘车间人员管理制度5.4 无尘车间洁净服管理制度5.5 无尘车间物流/洁净室内设备及工器具管理制度5.6 无尘车间清洁、 清扫和灭菌管理5.7 无尘车间洁净室安全管理6
0 版本更改记录1.0 无尘车间管理的目的2下载后可任意编辑半导体产品生产过程对车间有明确的洁净要求, 为了满足生产工艺需要、 保证产品质量、 安全生产, 必须对洁净室的环境、 人员、 物料、 设备、 生产过程等进行控制
2.0 无尘车间管理的原则2
1进入洁净室的管理, 包括对洁净室工作人员进入、 物料进入、 各类设备的搬入以及相关的设备、 管线的维护管理, 应做到不得将微粒、 微生物带入洁净室
2操作管理技术, 对洁净室内人员用洁净工作服的制作、 穿着和清洗; 操作人员的移动和动作; 室内设备及装修材料的选择和清扫、 灭茵等, 尽可能地减少、 防止洁净室内尘粒、 微生物的产生、 滞留、 繁殖等
3严格各类设备、 设施的维护管理, 制定相应的操作规程, 保证各类设备、 设施按要求正常运转, 包括净化空调系统、 各类水气电系统、 生产工艺设备和工器具(工装夹具)等
以确保产品生产工艺要求和空气洁净度等级
4清扫、 灭菌管理, 对洁净室内的各类设备、 设施的清扫、 灭茵以及方法、 周期和检查作明确的规定, 防止、 捎除洁净室内尘粒、 微生物的产生、 滞留、 繁殖
5洁净室环境控制的内容包括: 空气净化、 洁净建筑、 与产品直接接触的水或气体或化学品和生产设备、 工器具等的污染物控制以及微振动、