方案 I 设备、工艺管道开车前的化学清洗方案1. 编制说明根据业主和EPC( 信息产业电子第十一设计研究院) 技术交底的要求：合成、精馏提纯、还原整理、尾气回收、氯硅烷储存及外管等（部分）工艺管道和设备，在安装前后必须保证一定的洁净度要求，循环水系统必须进行清洗预膜。本方案的编制还参照了我们以往在亚洲硅业（青海） 1200 吨/ 年、黄河水电新能源公司（青海）1500 吨/ 年和浙江中宁硅业（衢州）2×1500 吨/ 年多晶硅装置的清洗经验和施工方法，结合浙江协成硅业多晶硅生产装置的特点，加以修改和完善。中标后，将根据图纸和设计的具体要求编制详细技术方案予以指导施工。2. 编制依据2.1 HG 20202-2000 《脱脂工程施工及验收规范》 ；2.2 HG/T 2387-2007 《工业设备化学清洗质量标准》 ；2.3 HB5282-84《不锈钢酸洗钝化质量检验》 ；2.4 SJ20893-2003 《不锈钢酸洗与钝化规范》 ；2.5 JB/T6896-93 《空分设备表面清洁度》 ；2.6 HG/T 3523-2008《冷却水化学处理标准腐蚀试片技术条件》；2.7 GB8923-88 《涂装前钢材表面锈蚀等级和除锈等级》 ；2.8 GB 8978-1999 《污水综合排放标准》 ；3. 清洗目的多晶硅厂是一个纯度要求高、工艺复杂、设备种类众多的化工系统（部分具备冶金系统和半导体电子元器件的特点） 。为了减少工艺系统调试时净化处理的时间，最大限度地降低调试费用（系统净化处理阶段的废品率高，产品产出价值低），使得装置早日生产出高纯度多晶硅产品，必须做好工艺设备和工艺管道安装前的清洗处理工作。针对不同的工艺要求、不同的设备材质以及不同的设备类型、清洗处理要求和达到的基本标准（达到无油、无水、无尘与无杂质的四无要求和循环水的预膜要求）需要采取不同的清洗方法，清洗施工工艺可划分为四类：喷淋清洗、循环清洗、浸泡清洗（槽浸法和灌浸法）和擦拭清洗。4. 清洗范围和洗前准备4.1 清洗范围4.1.1 本次清洗主要针对浙江协成硅业有限公司千吨级多晶硅装置，工程中所涉及的合成、精馏提纯、还原整理、尾气回收、氯硅烷储存及外管等（部分）相关的设备（塔、罐、储槽、换热器、机泵和阀门管件等）及相应的不锈钢管道和碳钢管道，详见4.1.2 。4.1.2 清洗工作范围4.1.2.1 100工号（一般清洗）a 三氯氢硅合成炉之后走氯化合成料的设备，如储罐、计量罐、空冷器，换热器等；b 工艺管道、尾气（废气）管道；c 氢气管道；d 氮气管道；e 以上设备管道上的工艺阀门、...
