洁净工作台3Q验证方案VIP专享

VP-EQ-2020-004R01 第 1 页 共36 页 洁净工作台确认方案 使用部门/项目 工艺开发部 设备编号 2-B05-003、2-B06-003 人员 部门/项目组 姓名 签名 日期 起草人 审核人 审核人 审核人 审核人 批准人 验证小组成员（下面签名表示学习理解了本方案） 小组成员 部门/项目组 姓名 签名 日期 组长 组员 组员 组员 组员 组员 组员 会签（下面签名表示批准本最终方案 ） VP-EQ-2020-004R01 第 2 页 共36 页 目录 1 目的 ...................................................................... 3 2 范围 ...................................................................... 3 3 定义 ...................................................................... 3 4 参考资料 .................................................................. 3 5 验证小组成员及职责 ........................................................ 3 6 验证进度安排 .............................................................. 5 7 概述 ...................................................................... 5 7.1 基本情况 ............................................................... 5 7.1 验证原因 ................................................................ 6 7.2 设备/系统运行情况回顾 ................................................... 6 7.3 主要技术参数 ............................................................ 7 8 预确认 .................................................................... 7 8.1 人员确认 .............................................................. 7 8.2 文件确认 ................................................................ 7 8.3 公用系统连接确认 ........................................................ 7 8.4 环境确认 ................................................................ 7 9 安装确认 .................................................................. 8 9.1 安装位置确认 ............................................................ 8 9.2 随机文件确认 .......................................................