干气密封的加工

一、干气密封主要元件的一般要求 1、 硬质材料密封环密封端面平面度不大于 0.0006mm，粗糙度 Ra 值不大于 0.2um，软质材料密封环密封端面平面度不大于 0.0009mm，粗糙度 Ra值不大于 0.2um ，静止环密封端面与副密封 O 形橡胶圈接触部位 表 面 粗 糙 度 Ra 值 不 大 于 0.8um ， 旋 转 环 两 端 面 的 平 行 度0.005mm。2、密封环端面不得有裂纹、杂质、气孔、磕碰等缺陷。3 、静密封 O 形橡胶圈槽与静密封 0 形橡胶圈接触部位表面粗糙度 Ra 值 不 大 于 1.6um 。 4 、 O 形 橡 胶 圈 尺 寸 系 列 及 公 差 按 GB 3452.1-2005 的 规 定 ， 胶 料 的 物 理 化 学 性 能 要 求 按 JB/T 7757.2-2-2006 的 规 定 ,O 形 橡 胶 圈 可 采 用 高 于 GB 3452.1-2005 及 JB/T 7757.2-2006 的国外标准 0 形橡胶圈。5、弹簧的技术要求应符合 JB/T 11107-2011 的规定，同一套密封中各弹簧之间的自由高度差不大于 0.5mm。6、石墨环需做气压试验，试验压力为 0.3MPa 持续 10min 不应有破裂和渗漏现象。二、干气密封动压槽的加工技术 1、动压槽的常用加工方法干气密封与普通的机械密封相比在总体结构上并无太大区别，其中最大的特点是密封端面上开有微米级的动压槽，动压槽的加工是干气密封成败的关键技术之一。动压槽的加工方法主要有光刻法 、电火花加工 、电镀法 、喷砂法 、激光刻槽法等。1）光刻法 （ 化学腐蚀）在被刻槽的工件上涂以感光胶膜，然后将事先准备好的底片放于其上 ， 经曝光、显影、涂保护层后再在蚀刻液中浸蚀，便可得到所需的动压槽。这一方法在青铜上刻槽尚可 ，在硬质合金上刻槽时，由于胶膜在较高温度下耐不住浸蚀液的长时间腐蚀为此刻出的槽形质量不高。 2）电火花加工 （电蚀刻）此方法是利用 2 个电极放电的方法，将动压槽内待去除的材料电蚀刻掉， 其关键环节是放电头的制作。放电头端面结构和密封环端面动压槽结构相同，但图案是突出的。密封环和放电头分别连接 2 个电极，当 2 个端面接触时，产生放电，密封环端面动压槽部位的材料即被电蚀刻掉。这一方法要求电介质性能良好、放电头端面与密封环端面要平行，以取得均匀放电的效果， 否则各槽的槽深将难以保证。缺点是加工放电头困难，电蚀刻效率太低，放电头损耗较大。其次，加工成本高。而且，采用电火花加工方的动压槽效果不堪理想。再有就是...