1 罗 茨 真 空 泵 机 组 的 选 配 与 使 用 注 意 事 项 一、 前级泵的选配与连接 1、 前 级 泵 的 选 配 普 通 罗 茨 真 空 泵 是 不 能 单 独 使 用 的 ， 必 须 配 上 合 适 的 前 级 真 空 泵 组 成 机组 使 用 。 前 级 真 空 泵 的 作 用 是 降 低 罗 茨 真 空 泵 的 排 出 压 力 ， 使 罗 茨 真 空 泵 的进 、 排 气 压 差 和 压 缩 比 被 控 制 在 一 定 范 围 内 。 由 于 罗 茨 真 空 泵 的 压 缩 比 是 有限 的 ， 所 以 选 择 前 级 真 空 泵 的 抽 速 很 重 要 。 罗 茨 真 空 泵 的 最 大 压 缩 比 是 随 排出 压 力 的 变 化 而 变 化 的 ， 在 高 排 出 压 力 下 ， 最 大 压 缩 比 为 3： 1， 而 最 高 压 缩比 是 在 排 出 压 力 为1 到 10mbar 之 间 （ 1 mbar＝ 0.75Torr） 可 达 40:1， 甚 至 更高 些 。 选 择 前 级 泵 的 抽 速 ， 要 根 据 罗 茨 真 空 泵 机 组 的 长 期 工 作 压 力 范 围 来 考 虑 。 另外 应 当 考 虑 的 是 ， 对 预 抽 时 间 长 短 的 要 求 问 题 ， 如 果 正 常 工 作 时 间 远 比 预 抽 时 间长 ， 可 选 较 小 的 前 级 泵 ； 假 如 真 空 室 较 大 ， 而 且 要 求 很 快 达 到 预 抽 真 空 度 ， 就 要用 较 大 的 前 级 泵 。 还 有 必 须 要 注 意 的 是 罗 茨 泵 的 实 际 运 行时 的 压 差 不 得超过其最大 允许压 差 ， 一 般建议控 制 在75％以 下 ， 否则罗 茨 泵 会出 现过热、 过载或咬死等情况。 型 号 抽 气 速 率 L/s 最 大 允许压 差 Pa 配 用 功率 Kw 转 速 rpm 进 气 口直径 mm 排 气 口直径 mm 整机 质量 Kg ZJ-70 70 ≥6*103 1.5 2900 80 50 95 ZJ-150 150 ≥6*103 3 2900 100 80 165 ZJ-300 300 ≥5*103 4 2900 160 100 275 ZJ-600 600 ≥4*103 5.5 2900 200 160 420 图 3－1排 出 压 力 P出 (mbar)10100压缩比K010-1101011021033 2 Z J-1200 1200 ≥3*103 11 2900 250 200 980 Z J-2500 2500 ≥3*103 18....
