传 感 器 在 三 坐 标 测 量 仪 中 的 应 用 三 坐 标 测 量 机 是 一 类 大 型 精 密 测 量 仪 器
它 具 有 空 间 二 个 相 互 垂 直 的 运 动 导 轨 和 祁 应 的 二 个 坐 标 的 位 移 测 量 装 置 ， 并 配 有 不 同 性 能 的 测 量 头 、 实 现 对 空 间 点 、 线 、面 及 其 相 互 位 置 呐 测 量
一 、 三 坐 标 测 量 仪 的 传 感 检 测 系 统 二 ： 坐 标 测 量 仪 的 种 类 较 多 ， 性 能 各 异 ， 但 其 构 成 框 图 大 多 如 图 15—11 所 示
三 坐 标 测 量 仪 由 机 械 部 分 、 ATMEL 代 理 商 计 算 机 和 二 坐 标 测 量 仪 系 统 软 件 部 分 、 测量 系 统 、 测 量 头 (探 头 )及 附 件 构 成
其 中 测 量 系 统 对 三 坐 标 测 量 仅 的 测 量 精 度 、 成 本 影 响 较 大
测 量 系 统种 类 很 多 ， 按 其 性 质 可 分 为 机 械 式 测 量 系 统 、 光 学 式 测 量 系 统 和 电 学 式 测 星 系 统
‘1)机 械 式 测 量 系 统 机 械 式 测 量 系 统 在 现 代 坐 标 测 量 仪 上／、 V 用 已经很 少
(2)光 学 式 测 旦系 统 最常见的 是 光 栅测 量 系 统
它 是 利用 美尔条纹原理 检 测 坐 你的移 动 量
由 于光 栅精 度 高， 信号样易纫分 ， 因此， 现 代 二 坐 标 测 量 仪 ， 持别足计 量 型 测量 仪 ， 更多 采用 这种 测 量 系 统
使用 令箭保持清洁的 工作环境
除光 栅测 量 系 统 外， 其 他光 学 式测 量 系 统 尚有 光 学 读数刻线 尺、 光 电 显微镜
