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光化学、干膜、曝光及显影制程

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上一篇 回目录 下一篇 〖双击自动滚屏〗 光化学、干膜、曝光及显影制程 1、 Absorption 吸收,吸入 指被吸收物会进入主体的内部,是一种化学式的吸入动作。如光化反应中的光能吸收,或板材与绿漆对溶剂的吸入等。另有一近似词 Adsorption 则是指吸附而言,只附着在主体的表面,是一种物理式的亲和吸附。 2、 Actinic Light(or Intensity, or Radiation) 有效光 指用以完成光化反应各种光线中,其最有效波长范围的光而言。例如在360~ 420 nm 波长范围的光,对偶氮棕片、一般黑白底片及重铬酸盐感光膜等,其等反应均最快最彻底且功效最大,谓之有效光。 3、 Acutance 解像锐利度 是指各种由感光方式所得到的图像,其线条边缘的锐利情形 (Sharpness),此与解像度 Resolution 不同。后者是指在一定宽度距离中,可以清楚的显像(Develope)解出多少组“线对”而言(Line Pair,系指一条线路及一个空间的组合),一般俗称只说解出机条“线”而已。 4、 Adhesion Promotor 附着力促进剂 多指干膜中所添加的某些化学品,能促使其与铜面产生“化学键”,而促进其与底材间之附着力者皆谓之。 5、 Binder 粘结剂 各种积层板中的接着树脂部份,或干膜之阻剂中,所添加用以“成形”而不致太“散”的接着及形成剂类。 6、 Blur Edge(Circle)模糊边带,模糊边圈 多层板各内层孔环与孔位之间在做对准度检查时,可利用 X 光透视法为之。由于X 光之光源与其机组均非平行光之结构,故所得圆垫(Pad)之放大影像,其边缘之解像并不明锐清晰,称为 Blur Edge。 7、 Break Point 出像点,显像点 指制程中已有干膜贴附的“在制板”,于自动输送线显像室上下喷液中进行显像时,到达其完成冲刷而显现出清楚图形的“旅程点”,谓之“Break Point”。所经历过的冲刷路程,以占显像室长度的 50~75% 之间为宜,如此可使剩下旅途中的清水冲洗,更能加强清除残膜的效果。 8、 Carbon Arc Lamp 碳弧灯 早期电路板底片的翻制或版膜的生产时,为其曝光所用的光源之一,是在两端逼近的碳精棒之间,施加高电压而产生弧光的装置。 9、 Clean Room 无尘室、洁净室 是一个受到仔细管理及良好控制的房间,其温度、湿度、压力都可加以调节,且空气中的灰尘及臭气已予以排除,为半导体及细线电路板生产制造必须的环境。一般“洁净度”的表达,是以每“立方呎”的空气中,含有大于0.5μ m 以上的尘粒数目,做为分级的标准,又...

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