精品文档---下载后可任意编辑φ100mm 高重复性波长移相干涉仪讨论的开题报告开题报告：引言：波长移相干涉仪是一种应用于微纳米尺度位移测量的高精度光学测量技术，其原理是通过对两条光路分别暴露于相同波长的激光光束中，获得两条光路相位差的改变，最终根据光路相位变化得到待测对象的表面形貌变化。本讨论将采纳高重复性的 φ100mm 波长移相干涉仪，旨在讨论其在微小尺度位移测量方面的应用。讨论内容：1. 建立 φ100mm 波长移相干涉仪的光路模型本讨论将建立 φ100mm 波长移相干涉仪的光路模型，包括光路的光源、透镜、干涉仪等，以及在光路中加入样品组件实现微小尺度位移测量。2. 实现高重复性的波长移相干涉仪针对波长移相干涉仪中的激光光源、干涉仪等部件进行优化，实现高重复性的波长移相干涉仪。3. 分析波长移相干涉仪在微小尺度位移测量中的性能采纳本讨论建立的 φ100mm 波长移相干涉仪对微小尺度位移进行测量，并分析其在位移测量中的精度和可靠性。预期成果：通过对 φ100mm 波长移相干涉仪的光路模型进行建立，并进行高重复性波长移相干涉仪实现，本讨论旨在探究该技术在微小尺度位移测量方面的应用前景。同时，本讨论将对波长移相干涉仪在位移测量性能方面进行深化的分析，为其在微纳米尺度位移测量方面的进展提供有力支撑。
