精品文档---下载后可任意编辑2、范围：适用于层压工序制程能力的管控。3、职责：3.1 层压工序工艺工程师按法律规范要求管控该工序制程能力；3.2 技术中心负责该法律规范的编制与更新。4、模块划分：序号法律规范模块内容1制程目标工序产品能力、设备能力、制程能力、产品类型及工艺流程2工序资源工序设备物料资源3基本原理工序药水反应机理、设备作用原理4工艺原则工序参数设定原则、生产控制原则及特别产品要求5工艺维护工序维护保养内容方法和标准6制程监控工序制程监控内容及制程测试方法和标准7制程改善制程状态改善方法和途径8偏差处理法律规范和生产实际偏差的处理方法和途径。5、制程目标5.1 产品能力：详见附件三《层压工序产品能力参数表》5.2 设备能力：详见附件二《层压工序设备能力参数表》5.3 制程能力：详见附件四《层压工序制程能力参数表》产品类型工艺制作流程常规板来板→棕化→预叠→叠合→压合→X-Ray 钻靶→铣边→出板内层底铜大于等于 20Z 板，盲孔板、高频板来板→棕化→烘板→预叠→叠合→压合→X-Ray 钻靶→铣边→出板内层过电镀的板来板→烘板→棕化→烘板→预叠→叠合→压合→X-Ray 钻靶→铣边→出板6、工序资源6.1 设备资源：详见附件六《层压工序设备列表》6.2 物料资源：详见附件五《层压工序物料列表》7、基本原理内层芯板经过棕化处理后，在铜面形成一层均匀的棕色有机金属膜，可增强铜面与半固化片的结合力，同时在高温压合过程中，阻止铜与半固化片的氨基发生反应。产品实现的基本原理有药水作用原理、设备作用原理等。棕化反应机理酸洗的主要作用是去除铜表面氧化物，中和残余退膜液，粗化铜面，保证稳定的微蚀、成膜及着色。酸洗段的主要成分为过硫酸钠（NaPS）、H2SO4。其反应机理如下：Cu+CuO+H2SO4+Na2S2O8→2CuSO4+Na2SO4+H2O影响酸洗效果的因素及影响趋势如下：序号影响因素具体影响1NaPS 浓度NaPS 浓度是影响酸洗段效果的主要影响因素，随着 NaPS 浓度的增大，微蚀量增大，NaPS 浓度过高会影响内层铜厚及线宽的控制。2H2SO4浓度H2SO4 浓度是影响酸洗效果的因素之一，H2SO4 浓度过低，酸洗效果不佳会导致棕化不良。3温度根据阿伦尼乌斯方程：lnk=lnA-Ea/RT。其中 k 为速率常数，Ea 为实验活化能，A 为指数因子。当温度越高，速率常数越大，反应速率越大。但温度过高，又不利于药水控制与维护。4喷淋压力喷淋压力影响药水交换速率，喷淋压力过低，酸洗效果不佳会导致棕化不良。喷...
