0 南开大学 硅光电子学与储能实验室 Four-Point Probe Operation | 2011 四探针操作手册 四探针操作说明书 Fou r-Point Probe Operation 第1 章 引言 ............................................................................................................... 1 1. 目的................................................................................................................... 1 2. 应用范围............................................................................................................ 1 3. 测试设备............................................................................................................ 1 四探针 ........................................................................................................ 1 数字电压源表.............................................................................................. 2 第2 章 原理简述 ........................................................................................................ 3 1. 薄膜(厚度≤4m m )电阻率:................................................................................. 3 2. 薄膜方块电阻..................................................................................................... 3 第3 章 操作方法 ........................................................................................................ 5 1. 引言................................................................................................................... 5 2. 测试线连接方式 ................................................................................................. 5 3. KEITHLEY 2400 高压源表设置指南........................................................................ 6 4. 探针接触方式..................................................................................................... 8 5. 数据测试指南..................................................................................................... 8 第4 章...