扫描电镜操作手册

Zeis s SEM 培训资料 SEM 操作手册 一、开机 在电镜基座的前面板上有绿（ON）、黄（STANDBY）、红（OFF）三个按钮，见图一 图一 a 接通电源后，按红色按钮，电镜通电。 b 按黄钮，真空系统开始工作，整机处于待机状态。 c 约 1 分钟后按绿钮，所有系统开始工作，同时电脑自动启动(或人工手动启动)，进入系统。 d 双击 SmartSEM 并登陆。 二、 放置样品 （1）从样品室放入样品 a 键盘点击 Ctrl+G，打开扫描电镜控制窗口（SEM Control）。该窗口包括六个控制版面（如图二）：电子枪（Gu n）、探测器（Detector）、光阑（Apertu re）、真空（Vacu u m）、样品台（Stage）。 b 选中 Vacu u m 版面，点击 Vent 对样品室通入氮气（Vent 前确保 EHT 已经关掉）。 Zeis s SEM 培训资料 图二 c 等待几分钟后，样品室可以打开，放入样品（如图三），样品台卡在燕尾槽中，确认样品台卡紧了即可。 图三 （2）用Airlock 放置样品 图四 a 确认Stage 已经处于Exchange 位置：在Smart SEM 的菜单栏依次选择Stage→Store/Recal→$exchange。 b 点击 Airlock 面板上的Vent 按钮，卸掉交换室中的真空，将样品台卡在交换室的燕尾槽中，用样品传输杆拧紧样品台。 c 点击 Transfer 按钮（抽真空时手推紧一下舱门），抽真空后隔离舱门打开，样品传输杆伸入样品仓内，将样品台卡在样品基座上的燕尾槽中，旋松螺丝后将样品传输杆拉出来。 d 点击 Airlock 面板上的Store 按钮，关闭舱门。（注意：舱门关闭后Store 灯才停止跳动，这段时间内舱门在向内平移，仍处于未闭合状态，不能泄真空） Zeiss SEM 培训资料 三、观察样品 （1 ） 移动样品台，调节样品和物镜之间的工作距离 a 如果已经勾选了 Joystick disable，在 stage 中取消 Joystick disable 选项。 PS: 在 SmartSEM 5.06 中，增加了Stage Disabe 选项，此选项也需要取消勾选。且取消后，右下角有个对话框弹出，必须点击OK 后才能进行其他操作！ b 通过切换到 CCD 观察模式。 Zeis s SEM 培训资料 图五 c 通过样品台控制器将样品移到合适的位置，如图五所示： 当2 号操纵杆上下移动，控制样品台的上下移动。 当2 号操纵杆左右移动，控制样品台的左右倾斜。 当1 号操纵杆上下左右移动，控制样品台前后左右(X &Y axis)移动。 当旋拧1 号操纵杆，控制样品台顺时或逆时旋转。 当按3 号按钮，样...