氦质谱检漏仪使用说明 豪威真空光电股份有限公司文件 共1 6 页 第1 页 氦质谱检漏仪使用说明 一、 检漏仪及其真空系统的组成 VARIAN959-50检漏仪检漏漏率范围从 1X10-3（毫升/秒）到2X10-10（毫升/秒）（相当于 30年漏 1毫升），它主要由质谱管、高真空泵、热偶规管、一系列按钮控制的阀、测试接口、真空和漏率指示，以及电路板等部分组成，其真空系统结构为（分子泵型），如图 1： 图 1 检漏仪真空系统结构图（分子泵型） 检漏仪开启后，V1、V2、V6阀打开，测试口与质谱管保持真空氦质谱检漏仪使用说明 豪威真空光电股份有限公司文件 共1 6 页 第2 页 连接。如果按下“VENT”键，放气阀 V3打开，V1关闭，测试口处于大气状态，同时 V2打开，使分子泵、质谱管和机械泵连通。分子泵运行时，质谱管真空度要达到 2X10-4TORR以上，才能给离子源灯丝加热。 二、 检漏仪工作原理 氦质谱检漏仪使用说明 豪威真空光电股份有限公司文件 共1 6 页 第3 页 图 2 检漏仪工作原理图 如果被检系统有微小漏孔，在小孔周围喷氦气时，总有部分氦原子会通过漏孔进入检漏仪接口，通过其真空系统扩散到质谱管。质谱管是检漏仪核心组成部分，参见上图 2，在电场和磁场作用下，灯丝发射电子使气体电离，电离后带正电的离子通过聚焦和孔集中后，进入分析磁场（磁场强度为 2340高斯），由于受洛仑磁力作用，离子会发生偏转，其它外界条件相同的情况下，偏转半径由带电粒子电量与质量之比即荷质比决定，荷质比小的离子偏转半径小，荷质比大的粒子偏转半径大，只有氦离子才能通过抑制小孔到达收集极，信号经放大后，检漏仪报警。 三、控制和指示器功能说明： 序号 控制、指示器 功能 1 Vent Start Hold 和 Test按钮 检漏仪开关时，控制各个阀的动作顺序 2 Pressure(压力指示) 显示测试口压力，单位 millitorr 3 Leak rate(漏率指示) 显示漏率，单位 std cc/sec(标准立方厘米每秒)，超过或低于测量量程，分别由上下端两个发光 二 极 管 （ LED） “over” 和“under” 显 示 。 随 “range” 和“Hi-Lo Sensitivity”档位选择不同，×10-指数窗口将显示 4、5、6、7、8或 9作指数 氦质谱检漏仪使用说明 豪威真空光电股份有限公司文件 共1 6 页 第4 页 4 Range（量程选择） 量程选择共四个档位。旋钮上端圆孤指示从左到右，由最小漏率（最高灵敏度）到最大漏率（最低灵敏度） 5 Zero...
