江西天能电力股份文件名称：156 多晶硅片绒面制备工艺文件编号：版本：TNSC-01:编制部门：技术部生效日期：页数：156mm*156mm 多晶硅片绒面制备和清洗甩干工艺。2.目的2.1 清洗多晶硅片外表油污和损伤层、氧化层的去除。2.2 在多晶硅片外表制备一个反射率较低的织构外表。3.适用范围 适用于无锡市瑞能科技 DUZQJ-9000 型多晶硅制绒清洗机及 QSJ-03 型清洗甩干机。 多晶硅片绒面制备(硅片型号：156mm*156mm)4.定义 多晶硅在去清洗腐蚀后，目视硅片外表呈均匀的灰黑色，没有明显的斑点，多晶晶界不明显。显微镜下，绒面形貌均匀，硅片外表无明显台阶。5.职责5.1 所有操作人员都必须严格根据本文件进行操作；5.2 在操作过程中遇到问题应及时向相关技术人员反响，相关技术员及时提供帮助。6.内容6.1 插片6 主要原材料：合格的多晶硅片6.1.2 工装、设备：片架〔小花蓝〕清洗花篮美工刀6.1.3 工艺过程6.1 穿戴好工作服、工作帽、口罩和一次性手套。6.2 准备好片架、装片记录表以及工序流程卡。6.3 查看配料单，确认原材料信息以及数量，并填写装片记录和工序流程卡。6.4 检查硅片包装箱确认包装无撞击破损后翻开，取出硅片包装盒，在装片记录上记录相关信息。6.1.3.5 翻开硅片包装盒，从中抽取一片，根据检验标准分别检查其外观。6.1.3.6 取出包装盒内的硅片，并撵成扇形轻轻插入片架内。6.1.3.7 将装好硅片的片架分批按顺序整齐摆放在台面上，并将工序流程卡记录准确。6.8 将片架放入清洗花篮中每个清洗花篮中放置 3×4 个插片后的片架。准备下一步腐蚀清洗。6.8 考前须知1.每个片架最多可以插片 25 片。插片过程中对硅片进行检验，不合格硅片挑出。每装 100 片硅片需要更换一次手套，如装片过程中手套破损需及时更换。2.插片处翻开包装箱拿取硅片时，遵循少量屡次的原那么，不允许一次拿过量的硅片。3.插片时，手中拿的硅片数量在 50-100 片。4.确保没有缺陷片流出。5.确认在单个片槽内没有双片现象；各项数据的准确性和完整性。 装片过程中需及时将碎片、裂纹片以及其它与检验标准 不相符合的硅片挑出，并做好记录。6.2 腐蚀清洗6 开机翻开氮气阀门、压缩空气阀门、纯水阀门，翻开总电源→PLC 电源→各分电源6 准备工作6.1 确认各机械手是否在原点位置。6.2 确认各槽清洗状态正常，各槽内按工艺条件正确配液，见?清洗配液作业指导书?。6.2.2.3 确认各槽排水阀关闭，无漏液等，各槽内注入规定的溶液。6.4 ...
