直拉单晶操作规程拉晶工艺流程包括拆炉清炉清理石墨件装炉 抽空 冲氩气 熔硅料 引晶 放肩 转肩 投自动 等径 收尾 停炉1。拆炉：准备好不锈钢推车,（车面保持洁净)专用擦试布,无水乙醇及相应的工具。先拧开副室门螺丝，打开副室氩气阀门充气，待真空表压力到零位置时，炉内外气压平衡,开启副室门,把晶棒升至副室内，升起副室炉筒，转副室炉筒时必须把托盘移至副室以下,防止晶棒脱落。然后旋转副室移至取晶框上,稳定晶棒后，快降晶体至取晶框内。待晶棒与接晶框落稳后，然后带手套抓住细颈稍带点力向下攥，用钳子把细颈剪断，再慢慢松细颈，直至钢丝绳搞正完全消逝(防止钢丝绳转圈导致钢丝绳开叉）,查看一下钢丝绳是否完好，如开叉或断股要剪掉一段，必要时需更换新钢丝绳。检查重锤表面是否有氧化层，如有，必须用细砂纸打磨洁净,然后带好专用手套取出导流筒,保温盖,三瓣埚,石墨托盘，托杆，送至清石墨件房，待自然冷却后进行清理，特别注意托杆上有无硅点情况，（防止没有清理洁净,与托杆护套摩擦在拉晶过程中液面抖动.)2。清炉与清石墨件：清理炉子的副室炉筒，小副室，炉盖,炉筒,用长纤维纸,酒精把以上部位全部擦拭洁净，做到长纤维纸擦拭过后无污迹。每炉必清排气口，以免造成排气口堵塞，挥发物过多；用吸尘器吸洁净保温罩与加热器上下的挥发物,吸净碳毡上的毡毛。需保证在晶体的生长过程中尽量避开不起毛，无挥发物等杂质进入料中。清理石墨件的时候必须注意观察石墨埚的厚度,能不能达到要求，是否有裂纹等。把石墨件上的挥发物与一些杂质清理洁净.若石墨件上溅有硅料，应用什锦挫或细沙布打磨除去，必要时用砂轮机打磨。注意：清理石墨件的时候必须注意轻拿轻放，防止造成内裂!3。装炉:安装石墨件时各部位应相互吻合牢固,发现异常及时进行修正,打开埚转，观察石墨埚转动是否平稳,四周与加热器的间距是否匀称，检查取光孔是否对准,检查与钢丝绳软轴是否有异常。装炉应按其程序法律规范操作：原料准备检查石英坩埚打开原料袋去掉外层塑料袋,然后准备装炉。炉前人员必须检查核对所装炉的原料与母合金，是否准确无误。检查石英埚,保证无大量气泡群，无损伤,内表面无黑点,如有异常，标识清楚,由大班长确认后方可更换.把石墨件按次序装入炉内，穿好防尘服，戴好防尘帽，戴上棉手套与两层一次性手套,用氩气吹一下石英坩埚内壁后装入石墨埚内，再用蘸有少量酒精的纤维纸擦拭洁净，给上埚转，观察坩埚是否水平,保证水平的情况下才能装炉。装...
