定位精度与激光干涉仪线性分析报告 一、数控机床定位精度常见误差曲线与分析 1．负坡度 图 1 中曲线向外运行和向内运行，两个测试均出现向下的坡度。图 1 显示在整个轴线长度上，误差呈线性负增加。这表示激光系统测量的距离短于机床位置反馈系统指示的距离。图 11．负坡度可能原因。在激光干涉仪设置上，可能光束准直调整不正确，假如轴线短于 lm，则可能是材料热膨胀补偿系数不正确，材料温度测量不正确或波长补偿不正确。建议：（1）假如轴线行程很短，请检查激光的校准情况，检查电脑和测量头是否已连接并有反应； （2）、检查材料传感器是否正确定位以与输入的膨胀系数是否正确。(3)机床可能的误差源。俯仰和扭摆造成阿贝（Abbé）偏置误差、机床的线性误差。 建议：检查在垂直轴上的平衡作用。检查控制器补偿。再检查机床的俯仰和丝杆同轴度。 丝杠可能在最近的一次维修或机床移动时被弄弯了，或者丝杠偏心旋转。 2．正坡度 如图 2 显示在整个轴线长度上，误差呈线性正递增。可能是以下几种问题： (1)激光干涉仪设置可能有问题。如：材料热膨胀补偿系数不正确，材料温度测量不正确，波长补偿不正确。 (2)机床方面的问题。检查机床的俯仰和扭摆误差、机床的线性误差。 (3)建议：检查 EC10 和传感器是否已连接并有反应，或者检查输入的手动环境数据是否正确。检查材料传感器是否正确定位以与输入的膨胀系数是否正确。检查并调节导轨塞铁松紧。检查控制器补偿。图 2 3．周期性曲线 图 3 显示整个轴线长度上的重复周期误差。沿轴的俯仰保持不变，但幅度可能变化。周期性曲线可能原因： (1)激光干涉仪设置上的问题。该曲线的误差大小，不太可能与仪器操作有关，主要去分析机床本身的误差源。 (2)机床方面的问题。丝杠或传动系统故障、编码器问题或故障、长型门式机床轨道的轴线直线度。检查丝杠和导轨润滑。 (3)建议：采纳小得多的采样点间隔，在一个俯仰周期上再测量一次，确认俯仰误差。作为一项指导原则，假如你要检查的是机床某元件的周期性影响，可将采样间隔设为预期周期性俯仰的 1/8。比较以下各项，确认可能的误差来源：机床丝杠的螺距、编码器、分解器的支撑点之间的距离。图 3 检查位置反馈系统。将周期性误差大小与感应式测量器(Inductosyn）计量器上的编码器节段或球栅尺（Spherosyn）计量器中的球尺寸比较。 假如周期性误差很小，应考虑编码器插补故障的可能性。以微小的采样间隔重新检查，以降低...
