微纳加工技术实验指导书董连和 孙艳军 长春理工大学光电工程学院二○○八年十月目 录实验一 刻划刀具制作与研磨………………………………………1实验二 分划板刻制与检验…………………………………………4实验三 圆光栅紫外光刻……………………………………………8实验四 光学度盘检验………………………………………………11实验五 圆光栅照相复制……………………………………………13实验六 衍射光栅刻划………………………………………………16实验七 光学标准尺刻划……………………………………………18实验八 八台阶二元光学元件微细光刻……………………………20实验一 刻划刀具制作与研磨一．实验目的刻划刀具材料,形状和研磨的质量是决定刻划刀性能的基本因素。经过实际操作, 了解刻划刀具的种类、 材料、 几何参数及用途, 掌握专用工装的设计及刀具研磨的技巧。二.实验原理 以靠模作为依托, 刀坯一端与磨具相对运动产生机械磨削, 实现所需要的形状和结构尺寸。三．实验工具及材料: 15J 读数显微镜( 100X) 一台XTT 实体显微镜( 60X) 一台粗磨油石 ( 180 目) 一块精磨油石( W20) 一块抛光油石(
