页 码 版 本AllA.0修改内容首次公布生效日期2025-12-16文件修改记录受控文件保管者记录序号1分发单位生产部总页数：共20 页编制：审核：批准：1.0 目的:为 VCP 连续电镀铜线供给一份操作指引，避开因操作不当导致产品品质问题。2.0 范围:适用于 VCP 连续电镀铜线的生产操作。3.0 定义:VCP:加厚孔铜及表铜厚度。4.0职责:4.1 生产部:负责日常生产操作及保证工作参数条件正常、药品添加，机器日常保养。4.2 工艺部:负责为流程问题供给技术支援，负责日常药水分析，并发出药水调整指示。4.3 修理部:负责生产设备的修理效劳及保养。4.4 品保部:负责生产产品的品质监控及生产制作过程的监控。5.0 作业内容:5.1 流程：上板→酸洗→前缓冲→电镀铜→后缓冲→二级加压水洗→下板烘干→退镀→上喷水洗→上板5.2 工艺参数要求:过滤循环循环流量处理操作备注时间温度1-3mi有无n25℃硫酸铜硫酸CL铜缸70-90g/l200-240g/l50-70ppm21000L(不包括 副槽〕80g/l 220g/l 60ppm1. 药水分析：2 次/ 周2.槽片分析：1 次/周自动加药有标准：1.FV100A:350-550L/m in30-60min25℃铜光剂FV-1005-15ml/l8-12ml/lFV100C=10：1 2.60-120ml/KA.H1-5mi退镀硝酸25-40%450L35%1 次/天无/室温n注：每月定期取铜缸样做光剂的 CVS 分析，分析其中光剂和有机物〔TOC〕含量分析。结果报告由化验室保存，假设结果超出把握范围马上按供给商供给的方法调整。缸名酸性脱药水名称把握范围缸体积最正确管控分析频率脂〔酸硫酸3-5%1026L3%1 次/天洗〕1. TOC 含量标准:TOC≤5000ppm2. CVS/TOC 外发分不合格时处理方法:a. TOC 超标时马上安排碳处理，碳处理前如连续使用需对生产板做热冲击测试，如孔铜特别马上停顿生产。b. CVS 分析光剂不合格时，首先依据分析结果对药水进展调整。同时进展 HULL CELL 测试和热冲击测试，两种测试都无特别时可连续生产，如有特别，须对此期间生产板进展隔离评估。5.3 设备力气工程范围数量功率备注生产板最大尺寸622mm*547mm///生产板最小尺寸355mm*406mm///生产板最大厚度3.2mm///生产板最小厚度0.2mm///最快输送速度1.1m/min//最慢输送速度0.3m/min//均匀性要求延展性要求深镀力气≤5%电流密度 40ASF，孔铜 25um≥20%/// 0.25mm 孔径，纵横比 6.4：1 的通孔，电镀参数：25ASF×50min，深力气≧85%。5.5 单轨式垂直连续电镀铜设备开机前留意事项:5.5.1 合在电箱面板上电源总开关〔扳到 ON 位置〕，启动上料...
