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基板的清理的三种方法

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基板的清理的三种方法图像转移 采纳干膜进行图像转移的工艺流程为:贴干膜前基板清洁处理→干燥→贴干膜→定位→ 曝光→显影→修版。◎贴干膜前基板表面的清洁处理与干燥 贴干膜前板面包括覆铜箔板基板和孔金属化后预镀铜的基板。为保证干膜与基板表面牢 固的粘附,要求基板表面无氧化层、油污、指印及其它污物,无钻孔毛刺、无粗糙镀层。为增大干 膜与基板表面的接触面积,还要求基板有微观粗糙的表面。为达到上述两项要求,贴膜前要对 基板进行仔细的处理。其处理方法可以概括为机械清洗和化学清洗两类。1)机械清洗 机械清洗即用刷板机清洗。刷板机又分为磨料刷辊式刷板机和浮石粉刷板机两种。 ① 磨料刷辊式刷板机 磨料刷辊式刷板机装配的刷子通常有两种类型,压缩型刷子和硬毛型刷子。压缩型刷子是 将粒度很细的碳化硅或氧化铝磨料粘结在尼龙丝上,然后将这种尼龙丝制成纤维板或软垫,经 固化后切成圆片,装在一根辊芯上制成刷辊。硬毛型刷子的刷体是用含有碳化硅磨料的直径为 0.6mm 的尼龙丝编绕而成的。磨料粒度不同,用途也不同,通常粒度为 180 目和 240 目的刷子 用于钻孔后去毛刺处理,粒度为 320月和 500 目的刷子用于贴干膜前基板的处理。 两种刷子相比较各有其优缺点。压缩型刷子因含磨料粒度很细,并且刷辊对被刷板面的压 力较大,因此刷过的铜表面均匀一致,主要用于多层板内层基板的清洗。其缺点是由于尼龙丝较细容易撕裂,使用寿命短。硬毛型刷子的显著优点是尼龙丝耐磨性好,因而使用寿命长,大约 是压缩型刷子的十倍,但是这种刷子不宜用于处理多层板内层基板,因基板薄不仅处理效果不 理想,而且还会造成基板卷曲。在使用刷辊式刷板机的过程中,为防止尼龙丝过热而熔化,应不断向板面喷淋自来水进行 冷却和润湿。 ② 浮石粉刷板机 多年来国内外广泛使用的是磨料刷辊式刷板机。讨论表明,用这类刷板机清洁处理板面有 些缺欠,如在表面上有定向的擦伤,有耕地式的沟槽,有时孔的边缘被撕破形成椭圆孔,由于 磨刷磨损刷子高度不一致而造成处理后的板面不均匀等。 随着电子工业的进展,现代的电路设计要求越来越细的线宽和间距,仍旧使用磨料刷辊式 刷板机处理板面,产品合格率低下,因此进展了浮石粉刷板机。 浮石粉刷板机是将浮石粉悬浊液喷到板面上用尼龙刷进行擦刷,其机器主要有以下几个 工段: a.尼龙刷与浮石粉浆液相结合进行擦刷; b.刷洗除去板面的浮石粉; c.高压水洗; d...

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